| 寫入模式 | 我 | 第二 |
|---|---|---|
| 寫作表現(xiàn) | ||
| 最小特征尺寸 [μm] | 0.5 | 0.8 |
| 最小行數(shù)和間距 [μm] | 0.8 | 1.2 |
| 地址網(wǎng)格 [nm] | 4 | 8 |
| 邊緣粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 |
| CD均勻度 [3σ， nm] | 50 | 60 |
| 2鼈層對(duì)齊（全局）[nm] | 100 | 130 |
| 寫入速度 [mm2/分鐘] | 340* | 1020* |
| *快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒有規(guī)格 | ||
| 100 x 100 mm 的曝光時(shí)間2面積 [min] | 39 | 17 |
| 系統(tǒng)特點(diǎn) | ||
|---|---|---|
| 光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 | |
| 最大基板尺寸和寫入面積 | 300 x 300 毫米2 | |
| 基板厚度 | 0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度） | |
| 最大曝光面積 | 300 x 300 毫米2 | |
| 自動(dòng)對(duì)焦 | 實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)（光學(xué)和氣動(dòng)） | |
| 自動(dòng)對(duì)焦補(bǔ)償范圍 | 高達(dá) 80 μm | |
| 流量箱 | （閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗(yàn)箱 | |
| 對(duì)準(zhǔn)和計(jì)量 | 用于測(cè)量和對(duì)準(zhǔn)的相機(jī)系統(tǒng)和軟件包 | |
| 其他功能和選項(xiàng) | 100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動(dòng)處理和預(yù)對(duì)準(zhǔn)。光學(xué)邊緣檢測(cè)、頂部對(duì)準(zhǔn)以及可選的紅外和背面對(duì)準(zhǔn)。Zerodur® 載物臺(tái)和高分辨率差分干涉儀 | |
| 系統(tǒng)尺寸 | ||
| 系統(tǒng) / 電子機(jī)架 | ||
| 寬度 [mm] | 2605 / 800 | |
| 深度 [mm] | 1652 / 650 | |
| 高度 [mm] | 2102 / 1800 | |
| 重量 [kg] | 3550 / 180 | |
| 安裝要求 | ||
| 電氣 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 | |
| 壓縮空氣 | 6 - 10 巴 |
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