亚洲精品综合日韩中文字幕网站_精品综合久久久久97_中文在线天堂网www_久久精品免费一区二区三区_91久久国产综合精品女同国语_久久资源总站在线国产成人

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

無掩模對光刻機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號MLA 300

品牌STELLA/海德堡儀器

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地德國

更新時間:2025-06-05 16:28:32瀏覽次數(shù):558次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
無掩模對光刻機 MLA 300 提供高吞吐量、簡化的工作流程以及與制造執(zhí)行系統(tǒng) (MES) 的集成。該工具用于生產(chǎn)傳感器和傳感器 IC、MEMS 和微流體器件。其他應(yīng)用包括分立電子元件、模擬和數(shù)字 IC、ASIC、電力電子、OLED 顯示器和先進封裝。

1. 產(chǎn)品概述:

MLA 300 無掩模光刻機 提供高吞吐量、簡化的工作流程以及與制造執(zhí)行系統(tǒng) (MES) 的集成。該工具用于生產(chǎn)傳感器和傳感器 IC、MEMS 和微流體器件。其他應(yīng)用包括分立電子元件、模擬和數(shù)字 IC、ASIC、電力電子、OLED 顯示器和先進封裝。

MLA 300 可實現(xiàn)高的光學(xué)質(zhì)量和精度。標準曝光模塊的小特征尺寸為 1.5 μm。實現(xiàn)更高吞吐量和更高分辨率的寫入模式正在我們的路線圖上。MLA 300 具有自動化功能,具有可定制的裝載選項、為生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計的軟件以及獲得基材跟蹤技術(shù)。

MLA 300 克服了口罩采購、驗證和管理的要求,從而降低了生產(chǎn)成本和工作量。長壽命曝光激光器(24/7 全天候生產(chǎn)估計為 10 年)和較少的耗材可提高運營成本。模塊化設(shè)計可實現(xiàn)快速維護、更換或維修。實時自動對焦可補償基材翹曲或波紋,確保無瑕的圖案。無掩模光刻技術(shù)允許對每個芯片進行圖案校正和序列化,以全面跟蹤產(chǎn)品特性,例如傳感器校準。

具體參數(shù)
最小行數(shù)和間距 [μm]2
最小特征尺寸 [μm]1.5
CD均勻度 [3σ, nm]200
邊緣粗糙度 [3σ, nm]80
拼接 [3σ, nm]120
第 2 層對準 [3σ, nm]500
背面對準 [3σ, nm]1000
每個模塊的曝光時間(100 x 100 mm2 80 mJ/cm2 和 405 nm 激光波長)2.75 分鐘
一個模塊的最大寫入速度 405 nm 激光波長4615 平方毫米/分鐘
系統(tǒng)特點
光源375 nm 或 405 nm 的高功率二極管激光器
最大基板尺寸300 x 300 平方毫米
最大曝光面積300 x 300 平方毫米
基板厚度0.1 - 10 毫米
模塊化環(huán)境試驗箱溫度穩(wěn)定性±0.1°C
實時自動對焦光學(xué)和/或氣動自動對焦
自動對焦動態(tài)范圍高達 150 μm
對準高級對準;背面對齊可選
自動化自動晶圓處理和預(yù)對準


系統(tǒng)尺寸(不包括裝載機)
高度 × 寬度 × 深度1980 毫米 x 1200 毫米 x 2310 毫米
重量2600 千克


安裝要求
電氣400 伏交流電,50/60 赫茲,16 安






有掩膜光刻機

1.手動、半自動、全自動有掩膜光刻機$r$n2.高分辨率掩模對準光刻,

無掩膜/激光直寫光刻機

無掩膜/激光直寫光刻機 參數(shù):1. 光源:375 nm、385 nm、

電子束光刻系統(tǒng)

電子束光刻系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù):$r$n1.最小線寬≤8nm 光柵周期

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責,化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。

溫馨提示:為規(guī)避購買風險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

撥打電話
在線留言
杭锦后旗| 马尔康县| 昌乐县| 奉化市| 唐山市| 河津市| 灌云县| 黔西| 合江县| 荥阳市| 石河子市| 宁陵县| 天镇县| 汤阴县| 新安县| 乐山市| 沾化县| 华池县| 沙湾县| 宣武区| 隆林| 孟州市| 龙胜| 建宁县| 开封市| 琼结县| 吴堡县| 思南县| 马鞍山市| 寿阳县| 旌德县| 峡江县| 昂仁县| 威海市| 本溪市| 邹城市| 镇平县| 湘潭县| 滨海县| 静海县| 新巴尔虎左旗|