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深圳市矢量科學儀器有限公司

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8英寸硅刻蝕設備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Tebaank® Pishow® P

品牌魯汶

廠商性質經(jīng)銷商

所在地徐州市

更新時間:2025-06-05 21:24:03瀏覽次數(shù):476次

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Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設備是面向8英寸集成電路制造的量產(chǎn)型設備
設備由電感耦合等離子體刻蝕腔(ICP etch chamber)以及傳輸模塊(transfer module)構成
適用于0.11微米及其它技術代的多晶硅柵(poly gate)、側墻(spacer)、淺溝槽隔離(STI)工藝

1. 產(chǎn)品概述:

Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設備是面向8英寸集成電路制造的量產(chǎn)型設備設備由電感耦合等離子體刻蝕腔(ICP etch chamber)以及傳輸模塊(transfer module)構成

適用于0.11微米及其它技術代的多晶硅柵(poly gate)、側墻(spacer)、淺溝槽隔離(STI)工藝

2. 工藝數(shù)據(jù)

3 μm Trench

0.4 μm Trench

0.25 μm Trench

2 μm Poly

0.18 μm Poly

3. 詳細介紹

Tebaank®  Pishow® P 硅刻蝕設備,為8英寸IC產(chǎn)線上柵工藝的多腔式量產(chǎn)型設備,擁有自主開發(fā)的優(yōu)化設計, 保證了優(yōu)異的刻蝕均勻性(片內(nèi)<5%,片間<5%)和顆??刂?。提供AA、gate、STI、spacer、W recess等各項工藝的刻蝕解決方案。該設備高性價比的解決方案和優(yōu)秀的空間利用率,可為客戶產(chǎn)能升提供幫助。 



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