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深圳市矢量科學儀器有限公司

擴散/氧化系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號HORIC D200系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2025-06-05 12:39:11瀏覽次數(shù):555次

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HORIC D200系列 擴散/氧化系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大,可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺,安全性能高:設(shè)備及所使用的元件符合國標和國際標準。

1. 產(chǎn)品概述

HORIC D200系列 擴散/氧化系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大。

2. 設(shè)備用途/原理

HORIC D200系列 擴散/氧化系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大。可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺。安全性能高:設(shè)備及所使用的元件符合國標和國際標準。可提供優(yōu)良成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 4、6、8 英寸適用材料  硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝  磷擴散、硼擴散、氧化、退火、合金。適用域  科研、化合物半導體。擴散爐是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。

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