亚洲精品综合日韩中文字幕网站_精品综合久久久久97_中文在线天堂网www_久久精品免费一区二区三区_91久久国产综合精品女同国语_久久资源总站在线国产成人

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

當(dāng)前位置:深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>8 氧化設(shè)備、退火設(shè)備>> LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備

LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌Veeco

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2025-06-06 10:23:08瀏覽次數(shù):671次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系統(tǒng)具有與 LSA101 相同的架構(gòu),可在掃描激光系統(tǒng)中實現(xiàn)全晶圓環(huán)境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統(tǒng)能夠運行任何惰性氣體的混合物,包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵極結(jié)活化和鎳硅化物形成等應(yīng)用。

1.產(chǎn)品概述:

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系統(tǒng)具有與 LSA101 相同的架構(gòu),但包括獲得利的微室設(shè)計,可在掃描激光系統(tǒng)中實現(xiàn)全晶圓環(huán)境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統(tǒng)能夠運行任何惰性氣體的混合物,包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵結(jié)活化和鎳硅化物形成等應(yīng)用。LSA201 非常適合 20nm 以下的工藝,例如環(huán)境控制至關(guān)重要的界面工程和材料改性。

2.產(chǎn)品特點

長波長、布魯斯特角、p 偏振光,可實現(xiàn)佳的芯片內(nèi)均勻性

閉環(huán)溫度反饋控制,保持嚴格的溫度控制

布局獨立設(shè)計,非常適合處理平面和 FinFET 器件

具有靈活停留時間的局部應(yīng)力場可實現(xiàn)低應(yīng)力處理并減少晶圓破損。

12英寸立式中高溫氧化爐

12英寸立式中高溫氧化爐THEORIS X302H主要用于12英寸10

LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系統(tǒng)具有與 L

LSA 101 激光尖峰退火設(shè)備

LSA 101 激光尖峰退火設(shè)備 系統(tǒng)安裝的 IDM 和晶圓代工廠,是

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責(zé),化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。

溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

撥打電話
在線留言
内黄县| 固镇县| 教育| 五河县| 忻州市| 托里县| 浮山县| 元谋县| 临西县| 马边| 乌拉特后旗| 德令哈市| 高青县| 兴业县| 定陶县| 清河县| 宁强县| 永福县| 木兰县| 右玉县| 咸阳市| 彭州市| 鹤峰县| 望江县| 大兴区| 贵定县| 广汉市| 文山县| 易门县| 福鼎市| 北宁市| 新化县| 江华| 古蔺县| 曲阜市| 久治县| 瓦房店市| 锡林浩特市| 九寨沟县| 陈巴尔虎旗| 嵊泗县|