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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>8 氧化設(shè)備、退火設(shè)備>> Pallas A220碳化硅快速熱退火系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Pallas A220
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2025-06-05 12:21:38瀏覽次數(shù)：463次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。
2. 設(shè)備用途/原理
Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 6/8 英寸兼容，適用工藝 快速熱退火。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。?碳化硅快速熱退火系統(tǒng)?是一種特殊的加熱設(shè)備，能夠在短時間內(nèi)將碳化硅材料迅速加熱到高溫，并通過快速冷卻的方式使其達到非常高的溫度梯度。這種系統(tǒng)的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括CMOS器件后端制程、GaN薄膜制備、SiC材料晶體生長以及拋光后退火等。
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LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統(tǒng)具有與 L |
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