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產(chǎn)品特性 / Product characteristics
• 除單腔之外，另可搭載有磁場ICP（ISM）或NLD等離子源、去膠腔體、CCP腔體等對應(yīng)多種刻蝕工藝。
•為實現(xiàn)制程再現(xiàn)性及安定性搭載了星型電及各種調(diào)溫技能。
•擁有簡便的維護構(gòu)造，縮短了downtime，提供清洗、維護及人員訓(xùn)練服務(wù)等綜合性的售后服務(wù)體制。
•門的半導(dǎo)體技術(shù)研究所會提供完備的工藝支持體制。
產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
•化合物（LED或LD、高頻器件）或Power device（IGBT配線加工、SiC加工）。
•金屬配線或?qū)娱g絕緣膜（樹脂類）、門電加工工藝
•強電介質(zhì)材料或貴金屬刻蝕。
•磁性體材料加工。
產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

1、公司介紹

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學(xué)團隊孵化，致力泛半導(dǎo)體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。

公司主要業(yè)務(wù)如下:

裝備銷售:半導(dǎo)體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試裝備、半導(dǎo)體光電測試儀表。

設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall，裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。

廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall，人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。

經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年營業(yè)額達 3.2 億，連年復(fù)合增長率達 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴張期。

2、成長歷程

•2020年（公司成立年）

•2300萬訂單額

2021年 7000萬訂單額

2022年 2.5億訂單額

2023年3.2億訂單額

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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