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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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ULHITETM NE-7800H-高密度等離子刻蝕裝置
  • ULHITETM NE-7800H-高密度等離子刻蝕裝置

貨物所在地：國(guó)外

更新時(shí)間：2024-08-02 14:53:20

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高密度等離子刻蝕裝置ULHITETM NE-7800H

高密度等離子客戶裝置ULHITE NE-7800H是對(duì)應(yīng)刻蝕FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高難度刻蝕材料（強(qiáng)電介質(zhì)層、貴金屬、磁性膜等）的Multi-Chamber型低壓高密度等離子刻蝕設(shè)備。

高密度等離子刻蝕裝置ULHITETM NE-7800H

高密度等離子客戶裝置ULHITE NE-7800H是對(duì)應(yīng)刻蝕FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高難度刻蝕材料（強(qiáng)電介質(zhì)層、貴金屬、磁性膜等）的Multi-Chamber型低壓高密度等離子刻蝕設(shè)備。

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • •有磁場(chǎng)ICP（ISM）方式-可產(chǎn)生低圧?高密度plasma、為不揮發(fā)性材料加工的用設(shè)備。

    •可提供對(duì)應(yīng)從常溫到高溫（400oC）的層積膜整體刻蝕、硬掩膜去除的刻蝕解決方案。

    •通過從腔體到排氣line、DRP為止的均勻加熱來防止沉積物。

    •該設(shè)備采用可降低養(yǎng)護(hù)清洗并抑制partical產(chǎn)生的構(gòu)造和材料及加熱機(jī)構(gòu)，是在不揮發(fā)性材料的刻蝕方面擁有豐富經(jīng)驗(yàn)的量產(chǎn)裝置。

    •實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期的再現(xiàn)性、安定性


  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

  • •FeRAM, MRAM, ReRAM, CBRAM, PcRAM等.

  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters


1、公司介紹
深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學(xué)團(tuán)隊(duì)孵化，致力泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。
公司主要業(yè)務(wù)如下:
裝備銷售:半導(dǎo)體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試裝備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表。
設(shè)備服務(wù):駐場(chǎng)或者 oncall，裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。
廠務(wù)服務(wù):駐場(chǎng)或者 oncall，人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。
經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年?duì)I業(yè)額達(dá) 3.2 億，連年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá) 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴(kuò)張期。
2、成長(zhǎng)歷程
•2020年（公司成立年）
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額




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