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深圳市矢量科學儀器有限公司

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NLD-570-NLD干法刻蝕設備
  • NLD-570-NLD干法刻蝕設備

貨物所在地:國外

更新時間:2025-05-24 21:00:08

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研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設備NLD-570

研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設備NLD-570,是搭載了愛發(fā)科磁性中性線(NLD- neutral loop discharge)等離子源的裝置,此NLD技術可實現(xiàn)產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。

研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設備NLD-570

研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設備NLD-570,是搭載了愛發(fā)科磁性中性線(NLD- neutral loop discharge)等離子源的裝置,此NLD技術可實現(xiàn)產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。

  • 產品特性 / Product characteristics

  • •NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工。

    •高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工,在形狀或表面平滑性方面有優(yōu)異的刻蝕性能。
    •石英及玻璃作為厚膜resist mask時的也可實現(xiàn)深度刻蝕(100μ m以上)。
    •可實現(xiàn)高速刻蝕(石英>1μ m/min、Pyrex>0.8μ m/min)
    •可追加cassette室。
  • 產品應用 / Product application

  • •       光學器件(光衍射格子、変調器、光開關等等)、凹凸型微透鏡。流體路徑作成或光子學結晶。

  • 產品參數 / Product parameters



1、公司介紹
深圳市矢量科學儀器有限公司成立于 2020年,由武漢大學團隊孵化,致力泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務于一體的國家高新技術企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。
公司主要業(yè)務如下:
裝備銷售:半導體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試裝備、半導體光電測試儀表。
設備服務:駐場或者 oncall,裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持。
廠務服務:駐場或者 oncall,人力服務及廠務二次配工程。
經歷五年高速發(fā)展,2023 年營業(yè)額達 3.2 億,連年復合增長率達 300%,現(xiàn)處于穩(wěn)定擴張期。
2、成長歷程
•2020年(公司成立年)
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額









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