批處理式自然氧化膜去除設(shè)備 RISE-300批處理式自然氧化膜去除設(shè)備RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等難以去除的自然氧化膜的批處理式預(yù)清洗裝置。可處理200mm，300mm尺寸晶圓。

• 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

• •高產(chǎn)率以及低CoO

  •良好的刻蝕均一性（小于±5%/批）和再現(xiàn)性

  •干法刻蝕

  •Damage-Free（遠端等離子、低溫工藝）

  •自對準(zhǔn)接觸電阻僅為濕法的1/2

  •靈活的裝置布局

  •高維護性（方便的側(cè)面維護）

  •300mm晶圓批處理：50枚/批

  
  

• 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

• •自對準(zhǔn)接觸形成工藝處理

  •電鍍工藝處理

  •晶膜生長處理

  •Co/Ni自對準(zhǔn)多晶硅化物的處理

• 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

1、公司介紹深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學(xué)團隊孵化，致力泛半導(dǎo)體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。公司主要業(yè)務(wù)如下:裝備銷售:半導(dǎo)體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試裝備、半導(dǎo)體光電測試儀表。設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall，裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall，人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年營業(yè)額達 3.2 億，連年復(fù)合增長率達 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴張期。2、成長歷程•2020年（公司成立年）•2300萬訂單額2021年 7000萬訂單額2022年 2.5億訂單額2023年3.2億訂單額