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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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RISE-300-自然氧化膜去除設(shè)備
  • RISE-300-自然氧化膜去除設(shè)備

貨物所在地:國外

更新時(shí)間:2024-08-02 14:51:15

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批處理式自然氧化膜去除設(shè)備 RISE-300批處理式自然氧化膜去除設(shè)備RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等難以去除的自然氧化膜的批處理式預(yù)清洗裝置??商幚?00mm,300mm尺寸晶圓。

批處理式自然氧化膜去除設(shè)備 RISE-300批處理式自然氧化膜去除設(shè)備RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等難以去除的自然氧化膜的批處理式預(yù)清洗裝置??商幚?00mm,300mm尺寸晶圓。

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • •高產(chǎn)率以及低CoO

    •良好的刻蝕均一性(小于±5%/批)和再現(xiàn)性

    •干法刻蝕

    •Damage-Free(遠(yuǎn)端等離子、低溫工藝)

    •自對準(zhǔn)接觸電阻僅為濕法的1/2

    •靈活的裝置布局

    •高維護(hù)性(方便的側(cè)面維護(hù))

    •300mm晶圓批處理:50枚/批


  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

  • 自對準(zhǔn)接觸形成工藝處理

    電鍍工藝處理

    晶膜生長處理

    Co/Ni自對準(zhǔn)多晶硅化物的處理

  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters


1、公司介紹深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年,由武漢大學(xué)團(tuán)隊(duì)孵化,致力泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。公司主要業(yè)務(wù)如下:裝備銷售:半導(dǎo)體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試裝備、半導(dǎo)體光電測試儀表。設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall,裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall,人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。經(jīng)歷五年高速發(fā)展,2023 年?duì)I業(yè)額達(dá) 3.2 億,連年復(fù)合增長率達(dá) 300%,現(xiàn)處于穩(wěn)定擴(kuò)張期。2、成長歷程•2020年(公司成立年)•2300萬訂單額2021年 7000萬訂單額2022年 2.5億訂單額2023年3.2億訂單額




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