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深圳市矢量科學儀器有限公司

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有掩膜光刻機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號VPG 800 / VPG 1400

品牌STELLA/海德堡儀器

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間:2025-06-06 08:56:11瀏覽次數(shù):526次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機為光掩模(0.8至1.4 m)的高通量圖案化而定制。VPG1400是我們專為顯示行業(yè)設計的最大的系統(tǒng)。它是平板顯示器 (FPD) 應用的好的選擇,例如 TFT 陣列、彩色濾光片和 ITO。這些工具還用于先進封裝、半導體、LED 和觸摸屏應用的工業(yè)大面積光掩模應用。

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VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機

大光刻面積VPG+:技術的領航
大光刻面積的VPG  +維持原VPG系列為根基再進化,使其更加出色。VPG于2007年推出;  是擁有專量產(chǎn)型曝光技術光刻系統(tǒng),可靠和經(jīng)濟的解決方案,適用于要求嚴謹?shù)难谀ぐ逯圃臁?/span>

速度更快:超高速曝光
VPG+系列具有海德堡所研發(fā)的高速光學調(diào)制器,在速度下,曝光時間可以達到原始VPG的三倍!強化了曝光動能與數(shù)據(jù)傳輸路徑。

功能和選項:配備性能
VPG  +可配置各種平臺尺寸,最大可達1400mmx1400mm。  該系統(tǒng)具有355nm波長的紫外激光源,空氣軸承平臺,半自動或全自動入料器,用于基板裝載的溫控環(huán)境室。

應用:光罩制造和直接寫入
大光刻面積的VPG  +系統(tǒng)適用于advanced packaging, semiconductors, displays, color filters, light  emitting diodes, touch panel以及l(fā)ife  science應用。出色的圖像質(zhì)量和對位功能,也非常適合在大面積執(zhí)行多層套刻直寫。

VPG+  最大型的設備VPG+  1400專門針對顯示器相關行業(yè)應用:是所有VPG+系列中功能具有極其完善的溫控環(huán)境室,差分干涉儀和先進的mura校正以及面板間距優(yōu)化功能。




有掩膜光刻機

1.手動、半自動、全自動有掩膜光刻機$r$n2.高分辨率掩模對準光刻,

無掩膜/激光直寫光刻機

無掩膜/激光直寫光刻機 參數(shù):1. 光源:375 nm、385 nm、

電子束光刻系統(tǒng)

電子束光刻系統(tǒng) 技術參數(shù):$r$n1.最小線寬≤8nm 光柵周期

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