本機是一款全自動晶片刷洗機，全程封閉環(huán)境采用機械手自動操作，具備刷洗甩干功能，適用于各種半導體襯底材料拋光后的刷洗，可有效減少晶片表面顆粒污染。
功能齊全
具備刷洗甩干功能，全程封閉環(huán)境機械手操作，風險小，避免二次污染
操作簡便
PLC觸摸屏控制，機械手自動完成cassette to cassette的全自動晶片刷洗工作
兼容性好
可兼容2、4、6英寸晶片
占地面積小
盡量減少潔凈間的占地面積
性能參數
- 北方華創(chuàng)
- KEYSIGHT/美國是德
- ULVAC/日本愛發(fā)科
- SAMCO
- Veeco
- SENTECH
- 沈陽科儀
- 特思迪
- UNITEMP/尤尼坦
- SUSS
- Nikon/日本尼康
- 其他品牌
- OXFORD/英國牛津
- PVA TePla
- LEBO/雷博
- CIF
- Beneq
- 魯汶
- 芯源
- KURT.J.LESKER
- 響河
- Laurell
- STELLA/海德堡儀器
- G&P
- Yxlon
- 韓國真空/IOKOVA
- 托托科技
- ELIONIX
- 矢量科學
- 愛思強
- MPI
- 英斯特
- Angstrom
- ADT
- RIBER
- ESPEC/愛斯佩克
- Formfactor
- 珞佳智能
- Canon/佳能
- KOSAKA/小坂研究所
- 智程
- ERS
- PVD
- AdNaNo/鎧柏
- Hitachi/日立
- HORIBA/堀場
- 美國標樂
- ficonTEC
- 博捷芯
- F&S
- 華卓精科
- 至純
- Scienta Omicron
- TRESKY
- 米開羅那
- 尼普洛
- 泉一
- Raith
- NORDSON/美國諾信
- KEYENCE/基恩士
- Coherent
- MTS/美國美特斯
- ZEISS/蔡司
- Bruker/布魯克
- Kruss/克呂士
- FEI/賽默飛
- 日本電子
- Rigaku/理學
- 天仁微納
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