您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當前位置：深圳市矢量科學儀器有限公司>>其他前道工藝設備>>10 其他>> PFS系列活性化退火設備
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號PFS系列
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地國外
更新時間：2025-06-05 14:20:12瀏覽次數(shù)：546次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用的退火設備?？纱髮?150mm。活性化退火設備?是一種專門用于半導體行業(yè)的技術(shù)設備，它屬于退火爐的一種，用于加熱半導體晶片以影響其電性能。退火爐在半導體器件制造中扮演著重要的角色，通過加熱晶片來激活摻雜劑、轉(zhuǎn)換薄膜形態(tài)、修復注入損傷等，從而改善半導體的電氣性能。這種設備通常具有節(jié)能型周期式作業(yè)爐結(jié)構(gòu)，采用超節(jié)能設計和纖維結(jié)構(gòu)，以實現(xiàn)高效節(jié)能。此外，活性化退火設備還能夠集成到其他爐子處理步驟中，如氧化處理，或者獨立進行處理，以滿足不同的工藝需求。
2. 設備用途/原理
SiC功率器件用。研究開發(fā)。量產(chǎn)用。
3. 設備特點
大可對應φ150mm基板。大可加熱2000℃。高真空對應。單批次25片一次性處理（也有5片處理機）
 |
 |
 |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
| 評價時間 | 類別 | 詳細內(nèi)容 | 評價者 | IP地址 |
化工儀器網(wǎng)