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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

紫外線臭氧清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號UV-300H

品牌SAMCO

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間:2025-06-05 14:14:22瀏覽次數(shù):451次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合,可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs、InP)、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

紫外線臭氧清洗機 UV-300 200 - 300 nm/min的高灰化率。

概要

UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合,可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs、InP)、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

主要特點和優(yōu)點

    • 大加工尺寸為?300mm(?12英寸)。

    • 200 - 300 nm/min的高灰化率。

    • 加熱階段加快了清洗速度,實現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。

    • 通過調(diào)整平臺和石英擴散板之間的間隙,可以提高基板的均勻性。

    • 緊湊,使用小的潔凈室空間

    • 簡單,在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。

    • 柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。

    • 抽屜聯(lián)鎖保證了當(dāng)抽屜打開時系統(tǒng)無法工作。

    • 內(nèi)置臭氧催化劑裝置,可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

應(yīng)用

  • 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

  • 復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。

  • 表面改性(潤濕性和附著力的改善

  • 表面氧化(薄氧化層沉積)

  • 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

  • 清除有機污染物

  • 紫外線固化






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