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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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RIE等離子刻蝕設(shè)備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號RIE-300NR

品牌SAMCO

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間:2025-06-05 14:02:54瀏覽次數(shù):476次

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RIE-300NR是一種理想的RIE等離子刻蝕設(shè)備,適用于加工ø300mm晶圓和多晶圓(ø3“×12,ø4“×8等),具有優(yōu)異的均勻性。該系統(tǒng)的設(shè)計旨在大限度地減少工廠空間需求,提高產(chǎn)量,大限度地延長正常運行時間,并通過可靠的硬件和便捷的服務(wù)降低擁有成本。

1. 產(chǎn)品概述

RIE-300NR是一種理想的反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng),適用于加工?300mm晶圓和多晶圓(?3"×12,?4"×8等),具有優(yōu)異的均勻性。該系統(tǒng)的設(shè)計旨在大限度地減少工廠空間需求,提高產(chǎn)量,大限度地延長正常運行時間,并通過可靠的硬件和便捷的服務(wù)降低擁有成本。

2. 設(shè)備用途/原理

去除夾層膜,用于?300mm的失效分析。蝕刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。樹脂的蝕刻和脫膠。光阻劑的灰化、剝離和除塵。表面改性(潤濕性和粘附性的改善。

3. 設(shè)備特點

大加工范圍:?350 mm (?3" x 12, ?4" x 8, ?12" x 1)用戶友好的觸摸屏界面全自動 "一鍵式 "操作,可手動操作。優(yōu)化的噴淋頭可提供工藝氣體的均勻性。減少停留時間的近距離耦合氣體輸送箱。對稱的疏散設(shè)計與TMP相結(jié)合,形成了有效的流動。自動壓力控制,可精確控制工藝壓力,不受氣體流量影響。干式泵和系統(tǒng)布局便于維護(hù)。


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