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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>6 清洗設(shè)備>> WE2102系列8英寸槽式清洗設(shè)備
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)WE2102系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所在地北京市
更新時(shí)間：2025-06-05 13:07:39瀏覽次數(shù)：577次
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|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
1. 產(chǎn)品概述
WE2102系列 8英寸槽式清洗設(shè)備，該平臺(tái)工藝區(qū)為 12 吋優(yōu)良槽式清洗設(shè)備的拓展，具備優(yōu)異的工藝效果。
2. 設(shè)備用途/原理
該平臺(tái)工藝區(qū)為 12 吋優(yōu)良槽式清洗設(shè)備的拓展，具備優(yōu)異的工藝效果。精準(zhǔn)控制藥液混合比例。多樣的藥液比例擴(kuò)展應(yīng)用。精準(zhǔn)的蝕刻速率控制。優(yōu)秀的干燥效果。軟件量身定制，具備快速更新能力。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 8 英寸，適用材料 光阻、單晶硅、氧化硅、氮化硅、介質(zhì)膜、金屬膜、氮化鈦、硅化物。適用工藝 預(yù)清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除（Co,Ti）、Recycle 清洗。適用域 集成電路、化合物半導(dǎo)體、新興應(yīng)用。
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