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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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12英寸單片清洗設(shè)備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Saqua SC3080A系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2025-06-05 13:03:49瀏覽次數(shù):525次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
Saqua SC3080A系列 12英寸單片清洗設(shè)備。

1. 產(chǎn)品概述

Saqua SC3080A系列 12英寸單片清洗設(shè)備

2. 設(shè)備用途/原理

Saqua SC3080A系列 12英寸單片清洗設(shè)備,精密的腔室微環(huán)境控制能力支持多種化學(xué)品,高效的化學(xué)品回收效率,4 腔或 8 腔可選。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 12 英寸,適用材料 單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介質(zhì)膜、金屬膜適用工藝 后段 Cu/Al 制程刻蝕后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蝕, 后段控?fù)跗厥?/span>適用域 新興應(yīng)用、集成電路、優(yōu)良封裝。百科:?單片清洗設(shè)備主要用于清洗半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。?單片清洗設(shè)備是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備之一,特別是在硅片制造、晶圓制造及芯片封裝等場景中發(fā)揮著重要作用。這些設(shè)備通過采用旋轉(zhuǎn)噴淋、超聲波、氣泡等方式逐片清洗晶圓,確保半導(dǎo)體器件的潔凈度和性能。


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