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12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)Polaris系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時(shí)間:2025-06-05 12:58:26瀏覽次數(shù):574次

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Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng),磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率。

1. 產(chǎn)品概述

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng),磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率。

2. 設(shè)備用途/原理

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率,靈活的腔室配置,針對(duì)優(yōu)良封裝域優(yōu)化、穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng),兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸,穩(wěn)定并且低的Rc表現(xiàn),良好的顆粒和應(yīng)力控制能力,優(yōu)化的工藝流程帶來(lái)大產(chǎn)能表現(xiàn),低運(yùn)營(yíng)成本。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12英寸,適用材料 銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等適用工藝 電、優(yōu)良封裝中的UBM/RDL,適用域 新興應(yīng)用、優(yōu)良封裝。


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