亚洲精品综合日韩中文字幕网站_精品综合久久久久97_中文在线天堂网www_久久精品免费一区二区三区_91久久国产综合精品女同国语_久久资源总站在线国产成人

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

當(dāng)前位置:深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> ALD-150LE™原子層沉積ALD

原子層沉積ALD

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)ALD-150LE™

品牌KURT.J.LESKER

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時(shí)間:2025-06-06 13:03:33瀏覽次數(shù):631次

聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工
Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD150LE™是我們但極其靈活的原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng),專為入門級(jí)到中級(jí)用戶而設(shè)計(jì)。該ALD150LE™配置為純熱原子層沉積,工藝室設(shè)計(jì)促進(jìn)了均勻的母離子分散和輸送。加熱和溫度控制進(jìn)一步增強(qiáng)了系統(tǒng)性能??傮w而言,該ALD150LE™在緊湊的設(shè)計(jì)中提供了的靈活性和性能,而不會(huì)犧牲可維護(hù)性。

Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD150LE™是我們但極其靈活的原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng),專為入門級(jí)到中級(jí)用戶而設(shè)計(jì)。該ALD150LE™配置為純熱原子層沉積,工藝室設(shè)計(jì)促進(jìn)了均勻的母離子分散和輸送。加熱和溫度控制進(jìn)一步增強(qiáng)了系統(tǒng)性能??傮w而言,該ALD150LE™在緊湊的設(shè)計(jì)中提供了的靈活性和性能,而不會(huì)犧牲可維護(hù)性。

該ALD150LE™配置為純熱原子層沉積,我們的垂直流設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)分離、均勻的前驅(qū)體輸送,同時(shí)降低背景雜質(zhì)水平,從而提高薄膜質(zhì)量。為避免不必要的材料在輸送通道內(nèi)積聚和顆粒形成,有兩個(gè)獨(dú)立的腔室入口可用于前驅(qū)體分離。例如,可以使用單獨(dú)的入口來分離金屬有機(jī)前體和共反應(yīng)物,以防止在輸送管線和閥門中沉積。

  • 兩個(gè)獨(dú)立的進(jìn)樣口,用于前驅(qū)體輸送,可防止輸送通道中不必要的積聚

  • 開放式裝載室經(jīng)過精心設(shè)計(jì),可最大限度地減少由于密封脫氣和滲透引起的背景雜質(zhì)

  • 獨(dú)立的基板加熱器平臺(tái)和外腔殼體,可實(shí)現(xiàn)出色的溫度控制和均勻性

  • 304L不銹鋼結(jié)構(gòu)

  • 可訪問、低維護(hù)的設(shè)計(jì)

ALD150LE™開路負(fù)載設(shè)計(jì)允許在樣品引入過程中將基物(直徑最大為 150 mm)直接放置在基板加熱器臺(tái)上。在隨后的原子層沉積(ALD)處理過程中,集中式母離子輸送和泵送建立了一個(gè)屏障,將下游腔室密封的雜質(zhì)擋在反應(yīng)區(qū)之外。彈性體腔密封件在下游的戰(zhàn)略定位可使雜質(zhì)(由于密封件釋氣和滲透)遠(yuǎn)離基材表面,從而提高 ALD 薄膜質(zhì)量。特別是,這是在開放式負(fù)載室設(shè)計(jì)中獲得高質(zhì)量氮化物膜的一個(gè)重要特征。



部件鍍膜設(shè)備

部件鍍膜設(shè)備實(shí)現(xiàn)高大量生產(chǎn)率的高真空基礎(chǔ)In-line Sputter

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)Automotive Lamp Reflector是為

原子層沉積ALD

Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD15

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。

溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

撥打電話
在線留言
蓬莱市| 黎川县| 建湖县| 景泰县| 杭锦旗| 德昌县| 醴陵市| 论坛| 固始县| 乌兰县| 萨迦县| 长乐市| 囊谦县| 桓仁| 松阳县| 彝良县| 扬中市| 涟水县| 安义县| 潜山县| 奉新县| 金门县| 故城县| 临漳县| 永年县| 长兴县| 五台县| 格尔木市| 达尔| 桂平市| 凤阳县| 志丹县| 襄城县| 滕州市| 九寨沟县| 翁牛特旗| 黄陵县| 彩票| 嵊州市| 金塔县| 南靖县|