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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

ICP 刻蝕機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號NMC 508系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2025-06-05 12:50:11瀏覽次數(shù):565次

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NMC 508系列 ICP刻蝕機是電感耦合高密度等離子體(Inductively Coupled Plasma, ICP)干法刻蝕機,具有高精度、高選擇性和高效率等特點。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子制造、光電子制造等領(lǐng)域,特別是在集成電路、微機電系統(tǒng)(MEMS)、光電子器件等制造過程中發(fā)揮著重要作用。

1. 產(chǎn)品概述

NMC 508系列 ICP刻蝕機是電感耦合高密度等離子體(Inductively Coupled Plasma, ICP)干法刻蝕機,具有高精度、高選擇性和高效率等特點。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子制造、光電子制造等領(lǐng)域,特別是在集成電路、微機電系統(tǒng)(MEMS)、光電子器件等制造過程中發(fā)揮著重要作用。

2. 設(shè)備用途/原理

NMC 508系列 ICP刻蝕機的工作原理主要是通過等離子體刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕兩種技術(shù)實現(xiàn)。在高頻電場和磁場的作用下,反應(yīng)腔中產(chǎn)生等離子體,這些等離子體與反應(yīng)氣體反應(yīng),產(chǎn)生刻蝕反應(yīng)。高頻電場和磁場能夠控制等離子體的分布和運動,從而實現(xiàn)對面片的精確刻蝕。

3. 設(shè)備特點

高精度刻蝕:NMC 508系列 ICP刻蝕機能夠刻蝕出非常精細(xì)的圖案,滿足半導(dǎo)體制造對精度的要求。通過高頻電場和磁場的作用,精確控制等離子體的分布和運動,實現(xiàn)對面片的精確刻蝕。多腔室集群設(shè)計:該設(shè)備為多腔室集群設(shè)備(Cluster Tool),具備全自動、能夠進(jìn)行串行或并行工藝處理的能力。系統(tǒng)由傳輸模塊、金屬刻蝕工藝模塊、去膠模塊、冷卻模塊、電源柜和控制柜等組成,各模塊協(xié)同工作,確保工藝的高效性和穩(wěn)定性。優(yōu)良的顆??刂颇芰Γ和ㄟ^腔室結(jié)構(gòu)和溫度控制設(shè)計,提供優(yōu)良的顆??刂颇芰?,維護便利。這有助于提升設(shè)備的穩(wěn)定性、重復(fù)性和生產(chǎn)工藝水平,確保產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域:主要用于200mm硅片的金屬鋁和鎢的刻蝕工藝,適用于0.35-0.11μm集成電路等應(yīng)用場景。在Logic、BCD、Power(Si/SiC/GaN)、MEMS等多種特色工藝中均有應(yīng)用。高效生產(chǎn):北方華創(chuàng)的NMC 508系列 ICP刻蝕機已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn),并在多家客戶中完成驗證。設(shè)備的高效生產(chǎn)能力有助于縮短生產(chǎn)周期,提高生產(chǎn)效率。

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