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| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Scaler HK430
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2025-06-05 12:35:34瀏覽次數(shù)：485次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Scaler HK430 熱原子層沉積系統(tǒng)，填孔能力以及良好的薄膜均勻性。
2. 設(shè)備用途/原理
Scaler HK430 熱原子層沉積系統(tǒng)，填孔能力以及良好的薄膜均勻性，腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計，具備良好的防酸腐蝕能力，優(yōu)化機臺結(jié)構(gòu)，縮小占地面積。友好的人機交互和安全性設(shè)計保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 12 英寸，適用材料 氧化鉿、氧化鋯、氧化鋁，適用工藝 柵介質(zhì)層、介質(zhì)層、鈍化層，適用域 科研、集成電路、優(yōu)良封裝。原子層沉積（Atomic layer deposition）是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在原子層沉積過程中，新一層原子膜的化學(xué)反應(yīng)是直接與之前一層相關(guān)聯(lián)的，這種方式使每次反應(yīng)只沉積一層原子。
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