亚洲精品综合日韩中文字幕网站_精品综合久久久久97_中文在线天堂网www_久久精品免费一区二区三区_91久久国产综合精品女同国语_久久资源总站在线国产成人

深圳市矢量科學儀器有限公司

當前位置:深圳市矢量科學儀器有限公司>>半導體前道工藝設備>>3 CVD>> customized多腔等離子體工藝系統(tǒng)

多腔等離子體工藝系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號customized

品牌矢量科學

廠商性質經銷商

所在地深圳市

更新時間:2025-06-05 10:36:55瀏覽次數:1296次

聯系我時,請告知來自 化工儀器網
多腔等離子體工藝系統(tǒng)-概述:
1.方案是適用于最大 8 吋晶圓的多腔等離子體沉積/刻蝕工藝系統(tǒng)
2.系統(tǒng)可用于研發(fā)和小批量生產
3.系統(tǒng)兼容 8 吋、6 吋、4 吋、3 吋晶圓和不規(guī)則碎片;不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔的開腔破真空

一、系統(tǒng)設備概述

多腔等離子體沉積/刻蝕系統(tǒng)是一款優(yōu)良的沉積/刻蝕設備,廣泛應用于半導體制造和微電子領域。該系統(tǒng)通過在多個腔室中產生等離子體,利用反應氣體對材料進行選擇性沉積/刻蝕,能夠實現高精度和高均勻性的沉積/刻蝕效果。多腔設計使得設備能夠同時處理多個晶圓,提高生產效率和吞吐量。該設備適用于多種材料,包括硅、氮化物和金屬等,廣泛用于集成電路、MEMS 以及光電器件的制造。憑借其良好沉積/刻蝕性能和靈活的工藝調節(jié)能力,多腔等離子體沉積/刻蝕系統(tǒng)在現代微納米加工中發(fā)揮著重要作用。

二、設備用途與原理

1.設備用途

多腔等離子體刻蝕沉積/刻蝕主要用于半導體制造、微電子和納米技術領域。它廣泛應用于集成電路(IC)、微機電系統(tǒng)(MEMS)、光電器件及其他高精度微納加工,能夠實現對硅、氮化物、金屬等多種材料的選擇性沉積/刻蝕。

2.工作原理

該系統(tǒng)通過在多個腔室中產生等離子體,利用反應氣體與材料表面反應,選擇性去除材料。首先,反應氣體被引入刻蝕腔室,經過電場激勵后形成等離子體。等離子體中的活性粒子與待刻蝕材料表面發(fā)生化學反應,產生揮發(fā)性副產物,從而實現材料的去除。多腔設計使得系統(tǒng)能夠同時處理多個晶圓,顯著提高生產效率和均勻性。此外,系統(tǒng)的工藝參數可調節(jié),允許用戶優(yōu)化刻蝕速率和選擇性,以滿足不同應用的需求。

三、設備組成

1.方案是適用于大 8 吋晶圓的多腔等離子體1.方案是適用于大 8 吋晶圓的多腔等離子體沉積/刻蝕工藝系統(tǒng)

2.系統(tǒng)可用于研發(fā)和小批量生產;

3.系統(tǒng)兼容 8 吋、6 吋、4 吋、3 吋晶圓和不規(guī)則碎片;不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔的開腔破真空;

4.系統(tǒng)包括:

  一個六端口的轉接腔、帶機械手

  六個端口分別連接:

1)一個 ALE 刻蝕腔模塊:用于 Al2O3, AlGaN, GaN 等的原子層刻蝕;

2)一個ICPECVD 沉積腔模塊:用于沉積氧化硅、氮化硅、氮氧硅等介質薄膜;

3)一個低溫 ICP-RIE 刻蝕腔模塊:配氟基氣體,主要用于低溫深硅刻蝕、常溫鍺刻蝕等

4)一個 loadlock 預真空室模塊:用于單片樣品的手動送樣;

5)一個真空片盒站模塊:用于多片片盒的自動送樣;

6)一個端口備用,未來可升增加 1 個刻蝕或沉積反應腔模塊工藝系統(tǒng)。


部件鍍膜設備

部件鍍膜設備實現高大量生產率的高真空基礎In-line Sputter

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)Automotive Lamp Reflector是為

原子層沉積ALD

Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD15

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責,化工儀器網對此不承擔任何保證責任。

溫馨提示:為規(guī)避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。

撥打電話
在線留言
如东县| 射洪县| 盘山县| 额敏县| 东莞市| 宝兴县| 惠东县| 浦县| 建德市| 楚雄市| 荔波县| 阿拉善右旗| 昌宁县| 雷州市| 连平县| 通榆县| 桃源县| 桓仁| 红安县| 漳平市| 离岛区| 井研县| 开化县| 九龙坡区| 临夏县| 三门峡市| 中山市| 文登市| 景谷| 咸阳市| 万源市| 夏邑县| 凤庆县| 金湖县| 全椒县| 大洼县| 日土县| 定安县| 宁阳县| 绍兴县| 东港市|