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深圳市矢量科學儀器有限公司

噴涂膠機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號AS8

品牌SUSS

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地德國

更新時間：2025-06-05 07:23:38瀏覽次數(shù)：885次

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在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細小的液滴

1.產(chǎn)品介紹：  

AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機,AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產(chǎn)環(huán)境下常用工藝的需要，對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工，都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產(chǎn)環(huán)境。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術(shù)

頂部邊緣覆蓋的保形涂膠，且能避免溝槽中堆膠。

噴霧設計，可實現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復性的優(yōu)化

基板尺寸最大直徑為200 mm，方形基板最大邊長為 6"

最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統(tǒng)，以避免交叉污染

帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程

有掩膜光刻機

1.手動、半自動、全自動有掩膜光刻機$r$n2.高分辨率掩模對準光刻，

無掩膜/激光直寫光刻機

無掩膜/激光直寫光刻機 參數(shù)：1. 光源：375 nm、385 nm、

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