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湖南中崎科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

18075173399

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日本ULVAC愛發(fā)科集成的皮拉尼真空計(jì)

參   考   價(jià): ￥ 7000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SP1

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地長(zhǎng)沙市

更新時(shí)間：2025-06-25 14:04:32瀏覽次數(shù)：105次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 2千-5千
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科集成的皮拉尼真空計(jì)
傳感器單元 SP1 是一個(gè)集成的皮拉尼真空計(jì)，由“Model：WP"傳感器頭和電路組成，范圍為 3000 至 0.4Pa（22 至 3 x 10-3 torr/ 3 至 4 x 10-3mbar）。

日本ULVAC愛發(fā)科集成的皮拉尼真空計(jì)

日本ULVAC愛發(fā)科集成的皮拉尼真空計(jì)


特征

節(jié)省成本和空間的傳感器類型

易于更換傳感器頭

具有優(yōu)異耐腐蝕性的鉑絲

您一直在使用的傳感器頭（WP-01、02、03、16）可以按原樣使用。

設(shè)定點(diǎn)輸出 2 點(diǎn)

測(cè)量值輸出 DC 0 至 5V（非線性）

電源電壓 DC24V

應(yīng)用

  • 真空設(shè)備（如半導(dǎo)體、光學(xué)和電子零件制造）的低真空范圍內(nèi)的過程控制。

  • 真空爐等工業(yè)設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過程控制

  • 低壓范圍內(nèi)的工藝控制，適用于具有多個(gè)工藝腔室的真空系統(tǒng)，例如在線濺射和單晶片加工設(shè)備。

規(guī)格

類型傳感器單元
型第 1 頁
兼容的傳感器頭WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

準(zhǔn)確性


±15 %（51 Pa ~760 Pa）
±30 %（10 帕 ~1000 帕）
±50 %（0.4 帕 ~3000 帕）
工作溫度范圍10 ~ 40°C
測(cè)量值輸出非線性輸出：0 至 5VDC（最大 10V）
設(shè)定點(diǎn) 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器非線性輸出：0 至 5VDC（最大 10V）
控制輸出信號(hào)集電極開路輸出，負(fù)邏輯
ERROR 信號(hào)
設(shè)定點(diǎn) 1/2
LED顯示屏電源、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2
電源電壓DC24V±2V， 90mA（最大）
輸入/輸出連接器D-sub-15P（M2.6 螺絲）
重量190 克/0.41 磅（不包括傳感器頭）

標(biāo)準(zhǔn)配件

輸入/輸出連接器 1 個(gè)
快速手冊(cè) 1 個(gè)

IO 和模擬 GND 未與電源 GND 隔離。



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