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當(dāng)前位置：湖南中崎科技有限公司>>機械備品備件>>ULVAC愛發(fā)科>> VPC-061日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

參   考   價: ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號VPC-061

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地長沙市

更新時間：2025-06-30 13:52:57瀏覽次數(shù)：128次

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產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
這種緊湊的真空蒸發(fā)系統(tǒng)是電阻加熱型和低成本型，其中主泵、副泵、閥門管道、電氣系統(tǒng)、壓力測量端口等必要設(shè)備緊湊地存放在管架中。
非常適合小基板尺寸的基礎(chǔ)研究和開發(fā)等實驗。

日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備


特征

桌面型和緊湊的尺寸使設(shè)置節(jié)省空間。

玻璃鐘罩很容易看到內(nèi)部并且具有良好的控制力。

可以在不停止主泵的情況下打開真空室。

規(guī)范

型VPC-061
真空性能極限壓力1.3×10-3
帕 6.6×10-4Pa（帶 LN 冷阱）
疏散時間4.0×10-3帕/20分鐘
1.3×10-3Pa/20min（帶LN冷阱）
真空室真空室玻璃鐘罩 （直徑 150mm × 200mm（H））
饋通套環(huán)3 個端口（第 3 側(cè)）
推薦基板尺寸（最大基板尺寸） ※1□25mm ? □50mm（最大）
電源系統(tǒng)蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)1 積分
蒸發(fā)電極/電源SEREM PSE-150C?1 式
0~10V 150A（Max）
排氣系統(tǒng)主泵油擴散泵（風(fēng)冷） 50L/sec
液氮捕集阱裝備
前級泵油旋轉(zhuǎn)泵 20L/min
油霧捕集器選擇
作系統(tǒng)主閥拍板閥
副閥三通閥
自動泄漏閥ー
控制手動控制
控制系統(tǒng)皮拉尼真空計選擇
電離真空計選擇
設(shè)置外形尺寸 （本體）434 毫米（寬）×422 毫米（深）×673 毫米（高）
電源480 毫米（寬）×435.3 毫米（深）×149 毫米（高）
重量 Body28 公斤
電源40 公斤

※1：顯示最大板尺寸的值，不考慮薄膜厚度分布。


效用

型VPC-061
所需功率身體100V 單相 50/60Hz 0.63kVA
電源200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子
D 級（接地電阻 / 100Ω 以下）
連接本體 1Φ 100VCabtyre 電纜（帶插頭） 2m
電源 1Φ 200VCabtyre 電纜（帶 R2.0-5 環(huán)形舌片端子） 2m


尺寸圖

日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備



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