| 產地類別 |
進口 |
應用領域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備
它是一種采用電阻加熱公式的高速型真空沉積系統(tǒng)，在支架中存放了油擴散泵、油旋轉真空泵、皮拉尼真空計、閥門配管、電氣系統(tǒng)和壓力測量端口等緊湊所需的設備，并配備了鐘罩升降設備等。
它非常適合實驗， 如大基板尺寸的基礎研究開發(fā)。
日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備
日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備
特征
通過玻璃鐘罩易于查看，易于維護。
真空室可以在不停止主泵的情況下打開。
由于增加了蒸發(fā)電源和電極，因此可以同時進行蒸發(fā)和多層蒸發(fā)（最多四層）。
它是帶腳輪的易于移動的真空泵系統(tǒng)。
安裝的安全性可以通過調節(jié)器來確保。
規(guī)范
| 型 | VPC-1100 系列 |
| 規(guī)范 | 極限壓力 | 4.0×10-4
帕 1.3×10-4Pa（帶 LN 冷阱） |
| 疏散時間 | 4.0×10-3帕/10分鐘
10-4Pa臺/10min（帶LN冷阱） |
| 真空室 | 真空室 | 玻璃鐘罩 （直徑 390mm × 350mm（高）） |
| 饋通套環(huán) | 20 個端口（側面 14 / 底部 6） |
| 推薦基板尺寸（最大基板尺寸）※1 | □50mm ? □220mm（最大） |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極結構 | 3 點 |
| 蒸發(fā)電極 / 電源 | SEREM “PSE-150C" 1 組
0~10V 150A（Max） |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵※2 | 油擴散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液氮捕集阱 | 選擇 |
| 副泵 | 油旋轉泵200L/min、2 泵 |
| 油霧捕集器 | 選擇 |
| 作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 副閥 | 三通閥 |
| 自動泄漏閥 | 選擇 |
| 控制 | 手動控制 |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計 | GP-1G 系列 |
| 電離真空計 | 選擇 |
| 設置 | 外部尺寸 Body | 1235 毫米（寬）×836 毫米（深）×2155 毫米（高） |
| 電源 | 裝備 |
| 重量 Body | 313 千克 |
| 電源 | 裝備 |
※1：顯示最大板尺寸的值，不考慮薄膜厚度分布。
※2：可安排渦輪分子泵 （TMP） 的規(guī)格。
效用
| 型 | VPC-1100 系列 |
| 所需功率 | 身體 | 200V 三相 50/60Hz 5.0kVA |
| 電源 | 100V 單相 50/60Hz 1.0kVA |
| 接地端子 | D 級（接地電阻/100Ω 以下） |
| 連接 | 本體 3Φ 200V | Cabtyre 電纜（帶 R3.5-4 環(huán)形舌片端子） 4m |
| 電源 1Φ 100V | 乙烯基電纜（帶插頭） 4m |
| 需水量 | 1.5 L/min （水溫 ： 20？25°C， 水壓 ： 200kPa （表壓）） |
| 連接（插座） | Rp1/4 （帶軟管接頭 “Kantouch"） |
| 推薦房屋※ | Tetoron 編織軟管 （外徑 15mm×內徑 9mm） |
※請準備冷卻水配管。
尺寸圖
VPC-1100 系列
化工儀器網