應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科離子泵
濺射離子泵用于為各種分析儀和加速器產(chǎn)生超高真空。
ULVAC 的濺射離子泵設(shè)計(jì)用于應(yīng)用新元件并優(yōu)化磁場,以改善超高真空和ji 高真空下的抽真空特性。
日本ULVAC愛發(fā)科離子泵
日本ULVAC愛發(fā)科離子泵
特征
可用于極限壓力 (10-9Pa 訂單)ULVAC 獲得了符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的測試圓頂訂單。
惰性氣體增強(qiáng)型泵送型號(AU 型)的泵送性能翻了一番(與 ULVAC 的傳統(tǒng)泵相比)
高抽速實(shí)現(xiàn)超高真空
在短時(shí)間內(nèi)抽真空至超高真空
在超高真空
下具有yi 流的抽氣特性(在超高真空下保持排放)
應(yīng)用
加速器
電子顯微鏡
電子吸引裝置
不喜歡振動(dòng)的精密分析儀
規(guī)格
型 | PST-030CU 系列 | PST-030AU 系列 | PST-050CU 系列 | PST-050AU 系列 | PST-100CX 系列 | PST-100AX 系列 |
目標(biāo)氣體 | 標(biāo)準(zhǔn)氣體 | 惰性氣體 | 標(biāo)準(zhǔn)氣體 | 惰性氣體 | 標(biāo)準(zhǔn)氣體 | 惰性氣體 |
抽速* (再生 抽真空速度) | 0.03 米3/s(N2 氣 泵)
| 0.013 米3/s(Ar 氣體 泵送)
| 0.045 米3/s(N2 氣 泵)
| 0.016 米3/s(Ar 氣體 泵送)
| 0.10 米3/s(N2 氣 泵)
| 0.05 米3/s (Ar 氣 泵) |
極限壓力 | 10-9帕 |
工作壓力*3 | <8.0×10-3帕 | <5.0 x 10-3帕 |
內(nèi)部容積 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3 倍 10-3m3 | 3.3 倍 10-3m3 |
元素編號 | CU 賣出×1 | AU sell×1式 | CU 賣出×1 | 澳大利亞賣出×1 | CX 賣出×1 | AX 賣出×1 |
連接法蘭類型 | UFC070 | UFC114 | UFC152的 |
施加電壓 | 直流+7.5kV |
加熱器電源
| 單相 | 無設(shè)置 | 交流200V,300W | 交流 200V,320W |
烘烤溫度 | 250°C |
重量 | 9.5 千克 | 12 公斤 | 37 公斤 |
尺寸 | 寬 x 高 x 深 | 103×183×187 毫米 | 153×204×241 毫米 | 155×336×340毫米 |
經(jīng)營 環(huán)境 | 溫度 | 5~40°C |
濕度 | 85% 或更低(無冷凝) |
泵固定螺栓孔 | 4 點(diǎn)-M5 深度 10mm | 4 點(diǎn)-M8 深度 6mm |
推薦控制器 | 商品及服務(wù)稅 (GST-07L-B) |
* 使用 GST-07L 時(shí)的價(jià)值。
抽速曲線
 | PST-050CU_AU
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 | PST-110AU 型
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PST-200CXII_AXII
| PST-400CXII_AXII
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尺寸圖
PST-030CU_AU
| PST-050CU_AU
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PST-100CX_AX
| PST-110AU 型
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PST-200CXII_AXII
| PST-400CXII_AXII
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