| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
復(fù)合渦輪分子泵采用陶瓷滾珠軸承，具有優(yōu)良的壓縮比。通過集成控制器設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)緊湊設(shè)計(jì)。出色的高背壓性能允許使用更小的前級(jí)泵。
日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
特征
自由安裝
安裝方向不受限制 由于安裝方向自由，系統(tǒng)設(shè)計(jì)的自由度很高。
板載控制器
集成控制器能夠減少電線工作并縮小泵送系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比和高背壓
高壓縮比使得泵能夠在高背壓下運(yùn)行并縮小其
前級(jí)泵的尺寸。
三種法蘭
入口口法蘭可從 ISO-K、ICF 和 VG 中選擇。
清潔的真空環(huán)境
在泵運(yùn)行和停止時(shí)，碳?xì)浠衔餁怏w的回流較少。
低噪音
空載時(shí)的噪音水平為 48dB 或更低（帶 ISO63-K 法蘭）
應(yīng)用
用于分析設(shè)備、研發(fā)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主要泵送系統(tǒng)。
蒸發(fā)器和濺射設(shè)備等的主泵送系統(tǒng)
主泵送系統(tǒng)，用于抽空 H2、He 等低分子氣體
規(guī)格
| 型 | UTM70B 系列 | UTM300B |
| 泵 | 咕咕法 | 自然風(fēng)
冷 | 強(qiáng)制風(fēng)
冷 | 自然風(fēng)
冷 | 強(qiáng)制風(fēng)
冷 |
| 法蘭尺寸 | 入口
*1 | VG65、ICF114、ISO063-K | VG100、ICF152、ISO100-K |
| 出口 | KF16 系列 | KF16 系列 |
抽速
（無
保護(hù)網(wǎng)） | 注2 | 70 升/秒 | 280 升/秒 |
| 他 | 60 升/秒 | 270 升/秒 |
| H2 型 | 49 升/秒 | 220 升/秒 |
極限
壓力
*2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8帕 | - *3 | 10-8帕 |
| 烘烤 | 10-6帕 | 10-6帕 | 10-6帕 |
| 最大壓縮率 | 注 2 ：
>1×109， 他 ： 4×107、H2 ： 4×105 | 注 2 ：
>1×109， 他 ： 7×106,H2 ： 1×105 |
入口
處的最大壓力
*4， *5， *6 | 注2 | 0.43帕 | 1.1帕 | 0.06帕 | 0.7帕 |
出口
處的最大壓力
*4， *5， *7 | 注2 | 300帕 | 900帕 | 100帕 | 1000帕 |
連續(xù)
運(yùn)行
最大
流量 *8 | 無
氣體吹掃 | 注2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10 厘米 *10 | 100 平方厘米 *10 |
無
氣體吹掃 | 氦氣 | - | 10sccm *9 | - | 30 厘米 *10 |
帶
氣體吹掃 | - | 15sccm *9 | - | 40 厘米 *10 |
推薦前級(jí)泵
（抽真空 10SCCM 時(shí)）
*11 | >60升/分鐘 | >120升/分鐘 |
| 重量 | VG：3.3kg， ISF：3.0kg， ISO：5.0kg | 6.0 公斤 / 9.0 公斤 | 6.3 公斤 / 9.3 公斤 |
| 轉(zhuǎn)速 | 87000轉(zhuǎn) | 60000轉(zhuǎn) |
啟動(dòng)時(shí)間（高達(dá) 80%）
（DC24V.背壓：5Pa 或更低） | 1.7 分鐘 | 3.5 分鐘 |
| 表面處理 *12 | 沒有 |
| 安裝方向 | 自由方向 |
| 噪聲 *13 | <48分貝（A） | <50分貝（A） |
| 控制器 | 輸入電源 | DC24V ±5%，120W | DC24V ±5%，180W |
觸點(diǎn)輸入和輸出
信號(hào) | REMOTE（D-sub 15 pin 公頭）
數(shù)字輸入：4 點(diǎn)。輸出：4 點(diǎn)。模擬輸出：1 點(diǎn)。 |
| 串行通信 | RS-485（D-sub 15 針公頭，與 REMOTE 共享） |
| LED 顯示屏 | 電源、正常、警報(bào) |
| 開關(guān) | 啟動(dòng)/停止，重置 |
| 可變旋轉(zhuǎn)頻率/速度 | 運(yùn)行轉(zhuǎn)速數(shù)
可以從泵規(guī)格的 25% 到 100%
之間以 0.1% 的步長(zhǎng)變化。 |
異常作
檢測(cè) | 檢測(cè)警報(bào)和警告。 |
| 保護(hù)電路 | 指示警報(bào)和警告。 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 使用說明書（CD-R）、保護(hù)網(wǎng)（墊圈中僅內(nèi)置 VG 和 ICF、
ISO 法蘭保護(hù)網(wǎng)）、
墊圈（入口法蘭）、防塵帽（入口、出口和連接器） |
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | CE、TUVus |
| *1 | 訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇入口 flenge。 |
| *2 | 使用 2 級(jí)真空泵作為背泵計(jì)算。 |
| *3 | 烘烤僅適用于帶 ICF 法蘭的強(qiáng)制風(fēng)冷型。 |
| *4 | 周圍空氣溫度時(shí)的值為
25°C。如果環(huán)境空氣溫度發(fā)生變化，可接受的值將發(fā)生變化。 |
| *5 | 最大出口壓力和最大入口壓力不能同時(shí)滿足。 |
| *6 | 最大進(jìn)氣口壓力，可接受連續(xù)運(yùn)行。 |
| *7 | 當(dāng)來自入口的氣流為 0 sccm 時(shí)，排氣口的最大壓力可以接受連續(xù)運(yùn)行。 |
| *8 | 環(huán)境溫度為 5~25°C 時(shí)的值。此外，應(yīng)使用 N2 進(jìn)行氣體吹掃，其流速應(yīng)為 25 sccm。 |
| *9 | 使用 60L/min 真空泵作為背泵測(cè)量的真空。 |
| *10 | 使用 120L/min 真空泵作為背泵測(cè)量的真空。 |
| *11 | 選擇合適的前級(jí)泵，以便在氣體流量增加時(shí)，不要將排氣口壓力保持在低于最大排氣口壓力。 |
| *12 | 請(qǐng)勿流動(dòng)反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體和含有鎵的氣體。使用其他氣體時(shí)，請(qǐng)與我們聯(lián)系。 |
| *13 | 該值根據(jù) ISO 法蘭類型的 ULVAC 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量。 |
尺寸圖
UTM-70B 系列
| UTM-300B 型
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