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湖南中崎科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

18075173399

當(dāng)前位置：湖南中崎科技有限公司>>機(jī)械備品備件>>ULVAC愛發(fā)科>> UTM300A-MS日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

參   考   價(jià): ￥ 20000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)UTM300A-MS

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地長沙市

更新時(shí)間：2025-06-23 13:57:59瀏覽次數(shù)：130次

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應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。我們擁有一系列抽速為 300 至 4000 L/s 的型號(hào)。控制器單元可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵


特征

泵體與控制器分離 控制器可監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，支持各種通訊標(biāo)準(zhǔn)。

自由安裝方向

自由安裝方向使系統(tǒng)設(shè)計(jì)靈活。

抽速 300L/s 至 4000L/s 級(jí)產(chǎn)品陣容

泵旋轉(zhuǎn)范圍為 25% 至 100％

通過改變轉(zhuǎn)速來調(diào)節(jié)腔室中的壓力。

高耐久性和安全性

通過了空氣沖入測(cè)試和著陸測(cè)試等安全確認(rèn)測(cè)試。

應(yīng)用

  • 設(shè)備主要真空抽氣系統(tǒng)
    - 半導(dǎo)體設(shè)備
    - 蒸發(fā)器，濺射系統(tǒng)
    - 分析設(shè)備，實(shí)驗(yàn)裝置等

  • 主真空抽氣系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應(yīng)產(chǎn)物的輕工藝。

  • 一般用于高真空抽真空系統(tǒng)。

規(guī)格

表 1
型UTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A 質(zhì)譜儀
入口VG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253
出口KF25 系列肯氟烴40
冷卻方式水
冷		風(fēng)
冷		水
冷		風(fēng)
冷		水
冷		風(fēng)
冷		水
冷		風(fēng)
冷
極限壓力 *1帕10-710-8
抽速 *2注 2L/s3204208001080
氦氣L/sー
他L/s340360800930
H2 系列L/s320340700790
按壓率注 21×109
他8×104
H2 系列1×1044×103
最大入口壓力 *3帕2001.32001.34001.34001.3
最大出口壓力 *3帕40040400406654066540
轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速4500035000
啟動(dòng)時(shí)間5 分鐘或更短
安裝位置在任何想要的方向
表面處理鍍鎳
冷卻水流量升/分鐘1~3ー1~3ー1~3ー1~3ー
壓力MPaG02~0.5ー02~0.5ー02~0.5ー02~0.5ー
噪聲分貝（A）60
重量公斤143332
推薦的前級(jí)泵200L/小 更多500L/小 更多
控制器組成分離型
輸入電力單相 AC200 ?240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz）
最大功率0.551.0
速度變化速度在額定速度的 25% 到 100% 之間變化（設(shè)置為 0.1%）
通信聯(lián)系
型號(hào)：RS-232C / RS-485
重量公斤8
*1：表示數(shù)字。
*2：無防護(hù)網(wǎng)。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時(shí)滿足。



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