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應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨式干式真空泵

特征

'低溫泵（型號：LR）

'“型號：LR"泵旨在縮短負載鎖定、PVD 工藝等的抽氣時間。

出色的氦氣泵送能力

屏蔽電機，安全且易于維護

斷電保護

泵可承受長達 500 毫秒的電源中斷。

優(yōu)異的耐腐蝕性氣體（型號：HR/UR）

內(nèi)部部件經(jīng)過特殊處理，具有高度的表面硬度和耐腐蝕性。這可以防止泵內(nèi)部部件在暴露于腐蝕性氣體時磨損和腐蝕。

通信功能

可以導(dǎo)出包括警告和警報在內(nèi)的泵數(shù)據(jù)。提供廣泛的泵控制。

應(yīng)用

規(guī)格

型		LR60 系列	LR90 系列	LR180型	LR421 系列	LR421-T
最大抽速	50 赫茲	62 米3/h （1030 升/分鐘）	112 米3/h （1860 升/分鐘）	183 米3/h （3100 升/分鐘）	440 米3/h （7333 升/分鐘）	440 米3/h （7333 升/分鐘）
	60 赫茲	80 米3/h （1333 升/分鐘）	126 米3/h （2100 升/分鐘）	237 米3/h （3950 升/分鐘）
極限壓力		5.0 帕
最大入口壓力		氣壓
最大排氣壓力		1.0 至 Atmosphere Pressure Pa
入口直徑（CE 型）		VG50（KF50）系列	VG80型（KF50）		VG100 系列
出口直徑		肯氟烴40			VG50 系列
重量		180 千克	245 千克	335 千克	415 千克
功率 *1	三相	200 VAC（50/60 赫茲）、220 VAC（60 赫茲）			180~240 伏交流電/380~440 伏交流電（50/60 赫茲）
當前	在極限壓力下	6.9 A （200V 時）	11.2 A （200V 時）	18.9 A （200V 時）	20.8 A （200V 時）
	在最大負載時	7.3 A （200V 時）	11.8 A （200V 時）	20.6 A （200V 時）	48.5 A （200V 時）
冷卻水供氣壓力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷卻水進/出差壓力		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷卻水流量		>5.0 升/分鐘			>4.0 升/分鐘
N2 氣體	供氣壓力	0.1~0.5 MPa
	調(diào)節(jié) 壓力	0.05~0.1 MPa
N2 吹掃	軸吹掃	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM			沒有	0~45 SLM