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深圳市矢量科學儀器有限公司

當前位置:深圳市矢量科學儀器有限公司>>半導體前道工藝設備>>2 PVD>> CS-200Load-lock式濺射設備

Load-lock式濺射設備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號CS-200

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間:2025-06-05 14:58:03瀏覽次數(shù):548次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應用領域 綜合
Load-lock式濺射設備是可對應從研究開發(fā)到小規(guī)模量產(chǎn)的濺射設備。這種設備通過在真空濺射室之前增加一個預真空鎖室(Load-lock chamber),實現(xiàn)了基片在預真空環(huán)境下進行快速裝卸,同時保持了濺射室的高真空狀態(tài)。

1 產(chǎn)品概述:

   Load-lock式濺射設備是一種采用Load-lock(預真空鎖)技術的濺射鍍膜設備。這種設備通過在真空濺射室之前增加一個預真空鎖室(Load-lock chamber),實現(xiàn)了基片在預真空環(huán)境下進行快速裝卸,同時保持了濺射室的高真空狀態(tài),避免了因頻繁開閉濺射室而導致的真空度下降和污染問題。該設備結合了高真空濺射技術和自動化的基片處理系統(tǒng),提供了高效、穩(wěn)定且可控的薄膜制備解決方案。

2 設備用途:

Load-lock式濺射設備主要用于制備高質量、高性能的薄膜材料,廣泛應用于以下幾個領域:

  1. 光學領域:用于光學鏡片、濾光片、反射鏡等光學元件的鍍膜,以改善其光學性能,如透光性、反射率等。

  2. 電子領域:在半導體器件、集成電路、平板顯示器等電子產(chǎn)品的制造過程中,用于制備導電膜、絕緣膜、擴散阻擋層等功能性薄膜。

  3. 汽車工業(yè):在汽車零部件的制造中,用于增加表面硬度、耐磨性、耐腐蝕性等性能,同時提高美觀度。

3 設備特點

Load-lock式濺射設備具有以下幾個顯著特點:

  1. 高效性:通過Load-lock技術,實現(xiàn)了基片的快速裝卸,減少了真空室暴露于大氣的時間,提高了生產(chǎn)效率。

  2. 高真空度:濺射室始終保持高真空狀態(tài),有效避免了污染和氧化問題,保證了薄膜的純凈度和質量。

  3. 自動化程度高:設備配備有自動化基片處理系統(tǒng),能夠實現(xiàn)基片的自動裝卸、旋轉和定位,減少了人工干預,提高了生產(chǎn)的一致性和穩(wěn)定性。


4
技術參數(shù)和特點:

活用過往的工藝及數(shù)據(jù)的know-how,創(chuàng)新的的便利設計

Load-lock室內(nèi)搭載cassette機構(可選)提升生產(chǎn)能力

基板搬送尺寸大為. φ300mm(膜厚均一性保證部分為中心φ200mm部份)

可對應多個cathode多層成膜/共濺射

可由touch panel操作開始自動制程、輸入recipe實現(xiàn)省力化運作

可對應Data-logging


濺射系統(tǒng)

iTops PVD AlN 濺射系統(tǒng),采用托盤形式,可兼容 2/4/6

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