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深圳市矢量科學儀器有限公司

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12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Hesper E230A

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2025-06-05 12:08:41瀏覽次數(shù):824次

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Hesper E230A 12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng),優(yōu)異的氣流場和加熱場設計提供優(yōu)良的工藝性能。

1. 產(chǎn)品概述

Hesper E230A 12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng),優(yōu)異的氣流場和加熱場設計提供優(yōu)良的工藝性能。

2. 設備用途/原理

Hesper E230A 12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng)優(yōu)異的氣流場和加熱場設計提供優(yōu)良的工藝性能,高效傳輸設計,可提高產(chǎn)能,單、雙、四腔兼容設計,可滿足不同客戶需求。

3. 設備特點

晶圓尺寸12 英適用材料 ,適用工藝 N&P 常壓硅外延,適用域 科研、集成電路。百科:?常壓硅外延系統(tǒng)的原理?主要涉及到在單晶襯底上生長一層與襯底晶向相同的單晶層,這層新生長的單晶層可以在導電類型、電阻率等方面與襯底不同,從而生長出不同厚度和不同要求的多層單晶,以提高器件設計的靈活性和器件的性能。外延生長技術發(fā)展于20世紀50年代末60年代初,當時為了制造高頻大功率器件,需要在低阻值襯底上生長一層薄的高阻外延層,以滿足減小集電極串聯(lián)電阻、材料能耐高壓和大電流的要求。此外,外延工藝還廣泛用于集成電路中的PN結隔離技術和大規(guī)模集成電路中改善材料質量方面。

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