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深圳市矢量科學儀器有限公司

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智能型多功能橢偏儀

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號customized

品牌HORIBA/堀場

廠商性質經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2025-06-05 08:32:44瀏覽次數(shù):918次

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產(chǎn)地類別 進口 應用領域 綜合
智能型多功能橢偏儀? (Smart SE) 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快,準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)(n, k)以及薄膜結構特性(如粗糙度、光學梯度及各向異性等)。

一、產(chǎn)品概述:

智能型多功能橢偏儀是一種高精度的光學測量儀器,用于分析薄膜材料的光學特性和厚度。該儀器結合了橢偏技術和智能化控制系統(tǒng),能夠提供實時測量和數(shù)據(jù)分析,廣泛應用于半導體、光電材料和表面科學等領域。

Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快,準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)(n, k)以及薄膜結構特性(如粗糙度、光學梯度及各向異性等)。

二、設備用途/原理

·設備用途

智能型多功能橢偏儀主要用于測量薄膜的折射率、消光系數(shù)和厚度,適用于各種薄膜材料的研究,包括氧化物、氮化物和有機材料。它在半導體制造、光學涂層開發(fā)和材料表征等方面發(fā)揮著重要作用,幫助工程師和研究人員優(yōu)化材料性能。

·工作原理

橢偏儀的工作原理基于光的偏振狀態(tài)變化。當偏振光照射到樣品表面時,反射光的偏振狀態(tài)會發(fā)生變化,這種變化與材料的光學性質及薄膜厚度相關。智能型橢偏儀通過檢測反射光的偏振狀態(tài),利用數(shù)學模型分析光學參數(shù)。通過智能化的軟件系統(tǒng),儀器能夠自動進行測量、數(shù)據(jù)處理和結果分析,提高了測試的效率和準確性。

三、主要技術指標:

1. Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快,準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)(n, k)以及薄膜結構特性(如粗糙度、光學梯度及各向異性等)

2. 光譜范圍:450nm to 1000nm

3. 光譜分辨率:優(yōu)于3nm

4. 光源:鹵素燈和藍光LED

5. 測試時間:小于1到10

6. 光斑尺寸:

   75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

   100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

   250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

   500µm*500µm

7. 入射角:450 to 900 ,步徑50

8. 樣品尺寸:200mm以內

9. 樣品準直:手動調整樣品臺高度(17mm以內)和傾角

10. 空氣對射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

11. 厚度準確性:0.04%

12. 厚度重復性:±0.02%

13. 可選附件:

      全自動量角器,入射角度從450 到900可調,步徑0.010

      可通過法蘭耦合在反應腔實現(xiàn)在線監(jiān)測

      冷熱臺,液體樣品池和電化學反應池

      十字星自準直系統(tǒng)


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