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深圳市矢量科學儀器有限公司

光學輪廓儀

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號customized

品牌Bruker/布魯克

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2025-06-05 08:19:28瀏覽次數(shù):1067次

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產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區(qū)間 面議 應用領(lǐng)域 綜合
光學輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

一、產(chǎn)品概述:

光學輪廓儀是一種高精度的測量儀器,利用光學技術(shù)對材料表面的輪廓和形貌進行非接觸式測量。它通過分析反射光和干涉圖樣,能夠獲取樣品表面的微觀特征,廣泛應用于材料科學、電子制造和精密工程等領(lǐng)域。

二、設(shè)備用途/原理

·設(shè)備用途

光學輪廓儀主要用于測量材料表面的粗糙度、形貌和高度變化。常見應用包括半導體器件的表面特性分析、光學元件的質(zhì)量檢測、涂層厚度測量以及微結(jié)構(gòu)的表征。這些數(shù)據(jù)對于材料的性能評估、質(zhì)量控制和研發(fā)過程至關(guān)重要。

·工作原理

光學輪廓儀的工作原理基于光的干涉和反射現(xiàn)象。儀器發(fā)射光束照射到樣品表面,反射回來的光與參考光束進行干涉。通過分析干涉圖樣的變化,儀器能夠精確測量樣品表面的高度和形貌特征。由于采用非接觸式測量,光學輪廓儀能夠避免對樣品的損傷,適合用于脆弱或敏感材料的表征。最終生成的輪廓圖可以提供詳細的表面特征信息,幫助研究人員進行深入分析。

三、主要技術(shù)指標:

1. 測量模式:PSl, USl, VSl, 選配的 Film

2. 大掃描量程:≤10 mm

3. 橫向分辨率:

4. 0.38 um minimum (Sparrow criterion)

5. 0.13 um (with AcuityXR)

6. 垂直分辨率:<0.01 nm

7. 臺階高度重復性:<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

8. 大掃描速度:122 um/sec (with laser reference)

9. 樣品反射率范圍:0.05% to 100%

10 .樣品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ;249 mm H 自動樣品臺

11. 大樣品重量:45 kg (77 kg without standard stage)

12. XY 品臺:300 mm 自動樣品臺

13. Z 軸聚焦:249(350 mm 不帶自動臺)

14. 光源:利雙LED光源

15. 物鏡:

16. Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

17. LWD: 1X, 2X, 5X,10X

18. TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

19. Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

20. 放大器:0.55X,0.75X,1X,1.5X, 2X auto-sensing modules         


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