多介质过滤器：采用三层滤料设计（上层 2-4mm 无烟煤，中层 1-2mm 石英砂，下层 4-8mm 鹅卵石），总高度 1200mm。通过筛分与吸附作用，去除原水中粒径＞10μm 的悬浮物、泥沙，使出水浊度≤1NTU，污染指数（SDI）≤3，为反渗透系统提供合格进水。设备配备全自动反冲洗装置，当进出口压差达 0.1MPa 或运行 48 小时后，启动气水联合反冲（空气擦洗 5 分钟 + 水冲 15 分钟），反冲洗水回收率≥90%。

活性炭过滤器：填充碘值≥1200mg/g 的柱状椰壳活性炭，层高 1500mm，高效吸附原水中的余氯（去除率≥99.5%）、有机物（TOC 去除率≥70%）及部分重金属（如铁、锰）。余氯的深度去除可避免其氧化反渗透膜，有机物的吸附则减少 EDI 系统的硅污染风险（光伏行业对硅含量要求严苛）。过滤器每 72 小时自动反冲洗一次，每年更换一次活性炭滤料。

软化器：采用双罐并联式设计（一用一备），内装强酸性钠型阳离子交换树脂，将原水中的钙、镁离子置换为钠离子，使出水硬度≤0.03mmol/L，防止反渗透膜与 EDI ?？榻峁?。树脂再生采用 10% 氯化钠溶液，再生周期根据原水硬度自动调节（通常为 24 小时），再生后交换容量恢复率≥98%，确保连续供水无间断。

阻垢剂投加系统：通过高精度计量泵投加光伏专用阻垢剂（如含硅阻垢成分的聚羧酸酯类），投加浓度 3-5mg/L，专门抑制硅、钙、镁离子的结晶析出（光伏原水常含一定硅浓度），阻垢效率≥95%。计量泵流量与进水流量联动，确保投加浓度稳定。

精密过滤器：采用 3μm 孔径的 PP 折叠滤芯（10-12 支并联），截留预处理残留的微小颗粒与胶体，滤芯过滤面积≥40㎡，更换周期为 2-3 周（根据压差＞0.1MPa 判断），更换过程支持在线操作，不影响系统运行。

采用抗污染型复合反渗透膜（如陶氏 BW30-400FR），膜元件数量 24 支，排列方式 8:4（第一段 8 支，第二段 4 支），单支膜面积 400ft2，操作压力 1.2-1.5MPa，水温 25℃时脱盐率≥98%，硅去除率≥95%，产水电导率≤50μS/cm，水回收率 70-75%。

配备 316L 不锈钢高压泵（流量 18m3/h，扬程 160m），采用变频控制技术，根据进水压力自动调节转速，节能率≥20%；系统安装在线电导率仪、硅含量检测仪，实时监控关键指标。

选用高脱盐率膜元件（如海德能 ESPA4），数量 16 支，排列方式 6:3，操作压力 0.8-1.0MPa，脱盐率≥99.5%，硅去除率≥99%，产水电导率≤10μS/cm，满足 EDI 系统进水要求。

二级浓水回流至一级反渗透进水端，系统总回收率提升至 80-85%；产水进入 316L 不锈钢中间水箱（容积 3m3），水箱配备氮气?；ぷ爸茫乐箍掌械?CO?与硅污染。

EDI ?？?/span>：选用光伏专用 EDI 模块（如西门子 IP-LXM45），4-6 个并联运行，每个?？榇砹髁?2-3m3/h。在直流电场作用下，通过树脂与膜协同作用，将水中残余离子迁移至浓水室排出，产水电阻率稳定在 15-18.2MΩ?cm，TOC≤5ppb，硅≤0.1ppb，金属离子（Fe、Cu、Zn 等）≤0.01ppb，光伏生产要求。

运行参数：操作压力 0.4-0.6MPa，进水温度 20-25℃，浓水排放率≤5%，极水排放率≤1%，功耗≤0.3kW?h/m3。系统配备在线电阻率仪、硅分析仪，实时监控?？樵诵凶刺?，确保产水质量稳定。

浓水循环系统：EDI 浓水采用部分循环设计（循环流量为进水流量的 30-50%），提高浓水离子浓度，增强除硅效率，同时降低浓水排放量，节水。

紫外线杀菌器：采用双波长（185nm+254nm）紫外灯管，功率 300W，照射剂量≥40mJ/cm2。254nm 波长杀灭微生物（杀菌率≥99.99%），防止细菌污染硅片；185nm 波长氧化分解残留有机物（TOC 再降 30%），避免有机物在高温工艺中碳化影响电池性能。灯管寿命 8000 小时，系统自动计时提醒更换。

终端超滤器：采用 0.05μm 孔径的 PES 中空纤维超滤膜，过滤面积≥80㎡，操作压力 0.1-0.2MPa，去除水中的微生物、胶体及粒径≥0.05μm 的颗粒（去除率≥99.99%），防止颗粒物划伤硅片表面。

光伏专用脱气装置：增设膜式脱气装置，去除水中溶解的 CO?（去除率≥99%），避免 CO?与水中微量离子结合形成碳酸盐，影响硅片清洗后的表面电阻率。脱气后水中 CO?含量≤1ppm，进一步保障电池片性能。

超纯水储罐：容积 20-30m3，采用 316L 不锈钢材质，内壁电抛光（Ra≤0.4μm），设计。配备夹套式温控装置，将水温稳定在 20-25℃（光伏清洗水温要求严格），顶部安装氮气密封系统（氮气纯度≥99.999%），维持罐内微正压（0.02-0.03MPa），防止空气中的污染物进入。

分配管路系统：采用 316L 不锈钢管道，内壁电抛光（Ra≤0.4μm），管径 DN80-DN100，通过自动轨道焊接连接。管路设计为循环回路，水流速≥1.5m/s，避免水流停滞；配备变频循环泵，确保各用水点压力稳定在 0.3-0.5MPa，满足硅片清洗机的水压要求。

在线监测系统：在储罐出口、循环管路及硅片清洗机用水点安装在线电导率仪（精度 ±0.01μS/cm）、TOC 分析仪（检测限≤1ppb）、硅分析仪、颗粒计数器（检测粒径≥0.1μm），实时监测关键指标，数据传输至中央控制系统，超标时自动报警并启动排放程序，确保不合格水不进入生产环节。

双级反渗透浓水回收设计，水回收率达 80% 以上，相比传统设备节水 30%，降低光伏生产水耗成本；

变频泵与优化管路设计，综合节能率≥20%；

EDI 系统无需酸碱再生，每年减少化学药剂消耗与废液处理成本≥8 吨，符合光伏行业环保要求。

硅片清洗：去除硅片表面的切割液、颗粒杂质，高纯度超水可避免残留离子影响后续扩散工艺，提升电池片均匀性。

制绒工艺：作为制绒液的稀释用水，低硅、低金属离子的超水可确保绒面均匀，提高光吸收效率。

扩散工艺：用于扩散炉管的清洗，防止水中杂质污染扩散层，保障 PN 结质量。

刻蚀与镀膜：作为刻蚀液配制与镀膜前清洗用水，高纯度水质可减少缺陷率，提升电池片可靠性。

日常维护：每日记录电阻率（≥18.2MΩ?cm）、硅含量（≤0.1ppb）等关键指标；每周更换精密过滤器滤芯；每月检查氮气密封压力与管路泄漏情况。

定期保养：每 3 个月校准在线硅分析仪与 TOC 仪；每 6 个月对反渗透膜进行化学清洗（酸洗 + 碱洗），重点去除硅垢；每年更换 EDI ?？槭髦胫斩顺四ぃ繁３栊?。

光伏专项维护：每季度对分配系统进行硅污染检测，若硅含量超标，启动专用硅清洗剂循环清洗；制绒工序用水点每年进行金属离子专项检测，确保满足工艺要求。