卧/立式连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分，*部分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部分为出口室；两对采用PCU04闭路环控制的中频孪生Si靶，形成高质量的隔离SiO2层；十对圆柱AZO靶，实现高质量的AZO透明导线膜；设备设计加工尺寸为宽1100mm，长1400mm的平面基板材料，生产加工周期可优化到60－120秒；生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的*设计，生产线采用涡轮浮分子泵以获得高效的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。

       卧/立式连续磁控溅射镀AZO膜生产线运用在薄膜太阳能电池上，透明导电膜用为减反射层和透明电极使用，可以提高太阳能的转化效率，用AZO薄膜代替ITO薄膜，不仅可以降低生产成本，而且无毒环保，膜层性能更加稳定。