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1000℃自动进出料回转CVD系统的加热元件选用优质电阻丝,加热腔体则采用氧化铝纤制品,其热导率偏低、比热容相对较高,以此来确保炉膛能够迅速升温且低蓄热,并且温...
九所科技PECVD实验设备是一种利用等离子体技术来促进化学反应的设备,具有高沉积速率、高均匀性和高附着力等特点,能够制备出高质量、高性能的薄膜材料。应用领域包括...
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