日本MITUTOYO高精度扫描探针 SP80

日本MITUTOYO高精度扫描探针 SP80

一、核心技术创新

SP80扫描探针代表了接触式测量技术的最新突破。其核心创新在于采用了"双模减振系统"：机械减振机构可消除85%的环境振动干扰，电子主动补偿系统则进一步抑制残余振动。探针测杆采用单晶蓝宝石材料，配合直径0.3mm的碳化钨测球，在保持0.1μN级接触力的同时，实现了业界的±0.008μm（8纳米）重复测量精度。

二、精密温度控制系统

针对超精密测量环境需求，SP80搭载了第三代智能温补系统：

1. 内置5个高灵敏度温度传感器，实时监测探针各部位温度变化

2. 采用AI预测算法，可提前30秒预判温度漂移趋势

3. "三轴独立补偿"技术，将热变形影响控制在X/Y轴≤2nm/℃，Z轴≤1nm/℃ 这套系统使得SP80在恒温实验室（20±0.5℃）条件下，可实现连续8小时测量漂移不超过15nm的稳定表现。

三、工程设计与应用优势

1. 人机工程改进：

• 磁性快换接口支持15秒内完成探针更换

• 360°全向指示灯实时显示测量状态

• 符合ISO 13485医疗设备标准的防污染设计

2. 工业适配性：

• 通过专用转接器兼容三丰CV-3200、SV-C3200等主流轮廓仪

• 支持G代码直接调用测量程序

• 标配防撞保护功能，可承受50次/秒的误碰检测

3. 典型应用场景：

• 航空航天：涡轮叶片冷却孔形位公差检测

• 半导体：晶圆切割道三维轮廓测量

• 医疗器械：人工关节表面粗糙度分析

• 光学制造：非球面透镜面形误差评估

四、测量性能验证

经日本国家计量院（NMIJ）认证：

• 平面度测量不确定度：0.02μm/50mm

• 阶梯高度测量重复性：0.005μm（1σ）

• 最大允许误差（MPE）：±（0.1+L/200）μm（L为测量长度，单位mm） 在实际汽车喷油嘴测量案例中，SP80成功实现了直径0.1mm微孔的轮廓全参数测量，数据重复性达98.7%。