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HORIBA堀场新概念压力不敏感质量流量模块
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SEC-Z700S 系列
新概念压力不敏感质量流量???/p>
SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力不敏感功能,可实现稳定的流量控制?;匮沽Σ饬拷档土似迨渌拖低车某杀尽⒊叽绾透丛有?。
新的高性能功能提供了简化的供气系统。典型的多室气体管路具有管路调节器、压力传感器和过滤器,以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。
SEC-Z700S 系列具有高稳定性,可在不影响上游和下游压力波动的情况下控制气体流量。提供流量输出、温度和压力读数。
基本功能
多气体/多量程功能。气体类型和满量程流量可由客户更改
稳定控制气体流量,不受上游和下游压力波动的影响
板载多显示器
超洁净设计 - 金属隔膜、全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理(标准)
尺寸紧凑 接头尺寸相同,最大 50 SLM
信号兼容性:EtherCAT、DeviceNet 模型
主要特点
保修 1% 设定点高精度(流量 ≥5%)
高重复性 (≤±0.15% 设定点/流速 ≥5%)
宽范围控制(0.5-100% 满量程)
可调响应 (300ms≦t≦1000ms)
高工作温度 (15-60°C)
低阀座泄漏性能 (≤0.1% 满量程/Bin#01-#06)
高耐腐蚀性设计
玉崎科学仪器(深圳)有限公司 - 主营产品: 便携式分光测色计,双光束分光光度计,旋转式鼓风机燃烧器
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