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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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产品介绍
日本HORIBA堀场原装数字式液体质量流量计
日本HORIBA堀场原装数字式液体质量流量计
LU 系列自动供液系统
LU 系列以不间断、安全和可靠的方式将液态化学品输送至液体材料烘烤系统和注入系统。这增加了正常运行时间，减少了操作人员手动操作和制程污染的风险。
LU 系列提供自动执行残余液体清洗程序的功能。
使用 LU 系列提高了供液能力和保养效率。
蒸汽压力监视功能作为标准配置，可在更换母罐期间检查吹扫效率
可选配称重传感器，监视母罐中残余液体总量
LU-A1000 系列设计紧凑，采用集成气体系统，与传统配件相比，可显著减小尺寸
日常维护时轻松更换部件
脱气器模块为标准配置，可降低液体鼓泡风险，适用于各种汽化系统，包括注入和烘烤应用
安全标准：SEMI S2/S8/S14, CE 标志
安全改善：多样化的监视设备提供全自动控制。LU-A1000 系列配备了自动紧急关机功能，一旦系统出现故障，该功能将被启动
可操作性改进：操作步骤全自动化，防止操作失误。操作也可以通过设备前端的触控面板来控制
模型 | LU-A1000 系列 |
支持液体 | TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS |
供给方式 | 氦气的压力运动 |
供气压力 | 压力移动用：0.3～0.6 MPa(G)；清洗用：0.3～0.6 MPa(G)，OP N 2 0.6～0.7 MPa(G) |
坦克 | 最大可连接 5 加仑容器（超出生产范围） |
手术 | 使用供给系统的外部信号自动供给/停止 |
操作区显示详情 | 压力误差显示；报警时：显示保持功能（手动复位）；液位显示；顺序等。 |
燃气连接 | 参考基本流程 |
电源 | 交流 100 至 240 V，50/60 Hz，300 VA |
电力连接 | AC 100 至 240 V 断路器连接，信号插座 |
外形尺寸 | 参见外形尺寸图 |
