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| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
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日本IKC手动型波纹管式直导入机超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 特点介绍
直进机是一种使真空中的设备、设备在保持真空状态的情况下从大气侧直线前进的产品。用于升降基板台、输送晶圆等。
入江工研的直线送料机有波纹管密封型和磁力密封型两种类型，并配有手动和自动驱动系统，提供满足各种需求的产品。
我们的焊接波纹管是内置的，行程标准化为 10 至 200 毫米。
驱动部分密封采用焊接波纹管，因此可用于超高真空领域。
它的结构极其简单，注重功能，使其体积小、重量轻。手动型设计可承受250℃烘烤温度。
波纹管式直导入机手动型(ILD-M)
波纹管式直导入机自动型（ILD-A）
波纹管式紧凑型直线送料机（ILC）
日本IKC手动型波纹管式直导入机超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 规格参数
ILD-34MILD-70MILD-114M
型号后缀30 50 30 50 100 50 100 150 200
行程（毫米）30 50 30 50 100 50 100 150 200
连接法兰CF34 CF70 CF114
驱动方式手动的
泄漏量1×10 -9 Pa?m 3 /s以下
烘烤温度250℃
主要使用材料SUS304
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