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| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
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日本musashino超高真空旋转导入机分辨率高 ICF034/ICF070 特点介绍
采用铝合金制成，体积小，重量轻。
铝制法兰型根据 ICF 标准进行镜面抛光和离子镀处理。
磁铁没有气体排放。
规格与超高真空兼容。
高精度和高分辨率（极低的背隙）。
配有夹紧机构。
■ Made of aluminum alloy; compact, and light-weight design.
■ Ion plating applied for aluminum flange after mirror finishingbased on ICF standard.
■ No Outgassing from magnet.
■ Specifications suitable for Ultra-High Vacuum.
■ High precision and high resolution. （Very little backlash）
■ A clamp is included.
日本musashino超高真空旋转导入机分辨率高 ICF034/ICF070 规格参数
额定尺寸真空连接法兰真空连接法兰最大传递转矩Maxi母传动扭矩真空密封方式真空密封类型最小读取单位Minimu m分辨率070 034ICF07010Nm磁铁耦合器磁铁耦合1.3 10-11Pa·m3/sec或更少5.120°C或更小ICF0342Nm磁铁联接器磁铁联接头1.3×10-11Pa·m3/sec或更少5.120摄氏度或更低（1x 10-10Torr·R/sec或更少）（1x 10-10Torr·R/sec或更少）
采用铝合金制成，体积小，重量轻。
铝制法兰型根据 ICF 标准进行镜面抛光和离子镀处理。
磁铁没有气体排放。
规格与超高真空兼容。
高精度和高分辨率（极低的背隙）。
配有夹紧机构。
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