本溪市2吨工业半导体超纯水设备方案

一、核心工艺设计

1. 预处理系统

• 多介质过滤器：去除悬浮物、胶体、铁锈等杂质（精度≥5μm）。

• 活性炭过滤器：吸附余氯、有机物，防止RO膜氧化。

• 软化器（可选）：降低钙镁离子浓度，防止RO结垢（原水硬度较高时必?。?。

2. 反渗透（RO）系统

• 高压泵：316L不锈钢材质，提供RO膜运行压力（1.0-1.5MPa）。

• RO膜组：陶氏BW30-400IG DRY或同类膜，脱盐率≥99%，产水2吨/小时。

• 回收率：60-75%（根据原水TDS调整）。

3. 后处理精制单元

• 电去离子（EDI）装置：连续去除残余离子，出水电阻率≥15MΩ·cm。

• 抛光混床：核级混床树脂，进一步降低电导率至≥18.2MΩ·cm。

• 紫外线杀菌器：254nm波长，灭杀微生物，防止储水箱二次污染。

• TOC去除装置（可?。篣V氧化或活性炭吸附，控制总有机碳＜5ppb。

4. 储存与分配系统

• PVDF/316L不锈钢储水箱：带氮气保护或循环系统，避免CO?吸收。

• 超纯水分配管道：316L不锈钢+UF过滤器，多点监测电阻率（＞18.2MΩ·cm）。

二、设备技术参数

三、出水水质标准

• 电阻率：≥18.2MΩ·cm（25°C）

• 颗粒物：＜10ppt（＞0.2μm）

• 微生物：＜1CFU/mL（UV+EDI抑制生物膜）

• 金属离子：Na?＜10ppb，Fe?3＜1ppb，Cu2?＜0.1ppb

• TOC：＜5ppb（可?。?0ppb）

四、设备成本与运行费用

1. 初期投资：

• 基础版（RO+EDI+抛光混床）：约30-40万元（含自动控系统）14。

• 高配版（含TOC控制+氮气?；ぃ涸?5-60万元5。

2. 运行成本：

• RO膜：3-5年更换，约5-8万元/套；

• EDI?？椋?-8年更换，约10-15万元/套；

• 抛光树脂：1-2年更换，约2-5万元/次。

• 能耗：约2-3元/吨（电费+泵耗）14。

• 耗材：

• 总成本：约5-8元/吨（含折旧）14。

五、合规与认证

1. 遵循标准：

• 国际：SEMI F57（半导体超纯水标准）、ASTM D5127（TOC检测）5；

• 中国：电子级超纯水国家标准（GB/T 11446.1）。

2. 验证文件：

• DQ（设计确认）、IQ（安装确认）、OQ（运行确认）、PQ（性能确认）

本溪市2吨工业半导体超纯水设备需结合RO+EDI+抛光混床+UV工艺，选用PVDF/316L材质，配套全自动控制系统，确保水质符合SEMI F57标准。