一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
|
- 發(fā)證機(jī)構(gòu)：
- 國家知識產(chǎn)權(quán)局
- 生效日期：
- 2021-11-16
- 截止日期：
- 長期
認(rèn)證簡介：
一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
|
|
一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器