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一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
發(fā)證機(jī)構(gòu):
國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局
生效日期:
2021-11-16
截止日期:
長期
認(rèn)證簡介:
一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
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一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制
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一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器
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