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一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
發(fā)證機(jī)構(gòu):
國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局
生效日期:
2021-12-07
截止日期:
長(zhǎng)期
認(rèn)證簡(jiǎn)介:
一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
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一種真空隔熱的MEMS流量傳感器
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一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制
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