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薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)簡介

閱讀:165        發(fā)布時間:2025-06-20
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    巨力光電(北京)科技有限公司

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離線薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)

 

廠家:k-Space Associates, Inc.

型號:kSA MOS Ultra Scan

 

kSA MOS Ultra Scan采用非接觸 MOS(多光束光學(xué)傳感) 激光技術(shù);不但可以對薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進(jìn)行測量,還可對二維應(yīng)力 Mapping成像統(tǒng)計分析;同時測量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系。

2.png

 

基于kSA MOS 技術(shù),kSA MOS Ultra Scan使用二維激光陣列掃描繪制半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡面、玻璃、透鏡等各種拋光表面的二維曲率、翹曲度和薄膜應(yīng)力分布圖。kSA MOS Ultra Scan適用于室溫條件下測量需求,實現(xiàn)晶元全自動2D掃描測量,同時獲得3D圖。

 

 

微信圖片_20210610145445.png

 

 

 

主要配置

 

1.14位單色CCD檢測系統(tǒng):分辨率 3296 x 2472 pixels (8MP), 5.5μm pixel size,有效感光面積18.13mm x 13.6mm,曝光時間可控范圍10us to 26.8;

2.激光和光學(xué)系統(tǒng):激光波長660nm(可定制其他波長激光器),激光功率70mW,恒電流運(yùn)行模式,穩(wěn)定性≤2%(8小時);帶溫控的激光控制器(出廠設(shè)定溫度25°C),溫度穩(wěn)定性<0.2°C;

3.自動光學(xué)追蹤系統(tǒng):當(dāng)進(jìn)行樣品測試時,用來追蹤伺服系統(tǒng)而檢測來自樣品表面反射光;

4.XY方向線性掃描樣品臺:掃描范圍300*300mm;分辨率1um;掃描速度可達(dá)20mm/sec.,軟件控制;

5.計算機(jī)、MOS數(shù)據(jù)采集和系統(tǒng)控制電路板:Windows 操作系統(tǒng);

6.測量分析軟件:數(shù)據(jù)采集,系統(tǒng)控制,自動激光光點檢測,自動曝光時間檢測(避免由于材料表面反射率的強(qiáng)烈變化而引起檢測器過載現(xiàn)象),曲率、曲率半徑、應(yīng)力強(qiáng)度、應(yīng)力、翹曲數(shù)據(jù)采集和圖像顯示,您可以選擇陣列任意數(shù)量激光點進(jìn)行測試,分析功能:有線剖面分析、統(tǒng)計分析、等高線圖分析等,便捷的2D和3D圖像顯示和調(diào)整功能,數(shù)據(jù)ASCII輸出;

 

光學(xué)薄膜應(yīng)力分布圖

光學(xué)薄膜應(yīng)力分布圖


表面Patterned試樣應(yīng)力分布圖

表面Patterned試樣應(yīng)力分布圖

 

樣品翹曲測量結(jié)果

樣品翹曲測量結(jié)果

 

 

 

 

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