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KLA-Tencor AIT I 晶圓檢測儀
是一種用于檢測圖案化晶圓表面缺陷的系統(tǒng)。該系統(tǒng)配置為處理6英寸（150毫米）和8英寸（200毫米）的晶圓，并具備自動對焦和雙暗場檢查功能。此外，它還配備了多通道采集光學系統(tǒng)、獨立可編程的空間濾波器以及X/Y驅動/控制器機架和運動控制器卡。
AIT I 系統(tǒng)是一種高速晶圓測試和計量系統(tǒng)，旨在檢測即使是最小的、可能降低產量的隱形對眼缺陷，從而為半導體制造企業(yè)提供更好的質量控制和更高的產量。這種系統(tǒng)的使用可以顯著提高生產效率和產品質量，確保在生產過程中及時發(fā)現并修復潛在問題。
KLA-Tencor AIT I 的主要特點包括：
- 處理6英寸和8英寸晶圓的能力。
- 配備多通道采集光學系統(tǒng)和獨立可編程的空間濾波器。
- 自動對焦和雙暗場檢查功能。
- 提供高精度的缺陷檢測能力，能夠快速準確地識別并分類各種類型的缺陷。
這些特性使得KLA-Tencor AIT I 成為半導體制造中的重要工具，幫助制造商提高良率和生產效率。
配置用于6"/150mm & 8"/200mm晶圓
多通道收集光學系統(tǒng)，獨立可編程空間濾鏡
X/Y驅動/控制器機架和運動控制器卡
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