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CX 200-掃描電子顯微鏡
  • CX 200-掃描電子顯微鏡

貨物所在地:廣東深圳市

地: 美國

更新時(shí)間:2025-05-15 21:00:07

瀏覽次數(shù):72

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Applied Materials CX 200 掃描電子顯微鏡
設(shè)備概述
型號(hào): SEMVision CX 200
制造商: Applied Materials
應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體制造環(huán)境
主要特性
光學(xué)系統(tǒng): 0.2 NA 光學(xué)系統(tǒng)
高分辨率彩色相機(jī)
電動(dòng)龍門
CO2激光準(zhǔn)直光學(xué)設(shè)計(jì)
低噪聲冷卻CCD相機(jī)
可調(diào)LED光源
多測量模式

Applied Materials CX 200 掃描電子顯微鏡

設(shè)備概述

型號(hào): SEMVision CX 200

制造商: Applied Materials

應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體制造環(huán)境

主要特性

光學(xué)系統(tǒng): 0.2 NA 光學(xué)系統(tǒng)

高分辨率彩色相機(jī)

電動(dòng)龍門

CO2激光準(zhǔn)直光學(xué)設(shè)計(jì)

低噪聲冷卻CCD相機(jī)

可調(diào)LED光源

多測量模式

技術(shù)優(yōu)勢

改進(jìn)的性能和產(chǎn)量監(jiān)控

支持先進(jìn)集成電路設(shè)計(jì)的制造

檢測微觀尺度的缺陷和非均勻區(qū)域

配置選項(xiàng)

自動(dòng)化掩模書寫功能

自動(dòng)化檢查技術(shù)

檢測能力

單晶圓檢測速度: ≤90 s (在流水線模式下)

單晶圓缺陷吞吐量: ≤500 DPH (可選600 DPH)

單晶圓吞吐量: ≥8 晶圓/小時(shí) (50個(gè)缺陷/晶圓)

清潔等級(jí)與API參數(shù)

清潔等級(jí): Class 1 可接受外界條件影響的結(jié)霜對(duì)機(jī)組性能的影響



API參數(shù): +/-1.5um API (Automatic Process Control)



Applied Materials CX 200掃描電子顯微鏡是一款高性能、高精度的掩模和晶圓檢測設(shè)備,憑借其先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)、強(qiáng)大的圖像處理能力和高效的自動(dòng)化功能,能夠滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)中對(duì)缺陷檢測的嚴(yán)格要求。



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