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吉时利全自动半导体参数分析仪4200A-SCS参数分析仪
吉时利全自动半导体参数分析仪4200A-SCS参数分析仪
加快各类材料、半导体器件和*工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能电学特性参数分析仪，提供同步电流电压曲线测试(I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试(C-V曲线测试)和超快脉冲I-V曲线测量。
主要性能指标
I-V源测量单元(SMU)
●±210 V/100 mA或±210 V/1 A?？?/span>
●100 fA测量分辨率
●选配前端放大器提供了0.1 fA测量分辨率
●10 mHz-10 Hz超低频率电容测量
●四象限操作
●2线或4线连接
C-V多频率电容单元(CVU)
●AC阻抗测量(C-V,C-f,C-t)
●1 kHz-10 MHz频率范围
●±30 V(60V差分)内置DC偏置源，可以扩展到±210 V(420 V差分)
●选配CVIV多功能开关，在I-V测量和C-V测量之间简便切换
脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)
●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道
●200 MSa/s，5 ns采样率
●±40 V(80 V p-p)，±800 mA
●瞬态波形捕获模式
●任意波形发生器Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
●两个高速脉冲电压源通道
●±40 V(80 V p-p)，±800 mA
●任意波形发生器Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率
-V/C-V多开关?？?CVIV)
●在I-V测量和C-V测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
●把C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针
远程前端放大器/开关?？?RPM)
●在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换
●把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
●降低电缆电容效应
4200A-SCS-PKA高分辨率IV套件
4200A-SCS：参数分析仪主机
4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率SMU
4200-PA：一个预放大器
8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具
4200A-SCS-PKB高分辨率IV和CV套件
4200A-SCS：参数分析仪主机
4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率SMU
4200-PA：一个预放大器
4215-CVU：一个高分辨率多频C-V单元
8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具
4200A-SCS-PKC高功率IV和CV套件
4200A-SCS：参数分析仪主机
4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率SMU
4211-SMU：两个用于高容量设置的高功率SMU
4200-PA：两个预放大器
4215-CVU：一个高分辨率多频C-V单元
8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具
4200-BTI-A超快NBTI/PBTI套件
用于使用硅CMOS技术进行的复杂NBTI和PBTI测量
4200-BTI-A套件包括：
1个4225-PMU超快I-V?？?/span>
2个4225-RPM远程预放大器/开关?？?/span>
自动化检定套件(ACS)软件
超快BTI测试项目?？椴枷?/span>
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