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迈可诺技术有限公司
主营产品: 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |

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参考价 | 220 |
L | 220元 | 100 件 可售 |
更新时间:2025-08-04 15:30:15浏览次数:28
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
供货周期 | 两周 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,综合 |
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高感光度标准G线正型光刻胶
AZ1500系列G线光刻胶
为广泛应用于半导体制造领域而优化的高感光度G线正型光刻胶
特征:
1) 高感光度,高产出率
2) 高附着性,特别为湿法刻蚀工艺改进
3) 广泛应用于*半导体行业
AZ1500系列G线光刻胶参考工艺条件:
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G线步进式曝光机/接触式曝光机
显影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去离子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剥离 :AZ剥离液及/或氧等离子体灰化
产品型号:AZ1500
Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa
AZ1500系列G线光刻胶 旋涂曲线:
AZ1500系列i线光刻胶 图案轮廓: